本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助工具，尤其涉及一種用于放置石英管的裝置。
背景技術(shù)：
1、石英管由于其材質(zhì)特性，具有耐高溫、膨脹系數(shù)低、耐熱震性、化學(xué)穩(wěn)定性和電絕緣性能良好，并能透過(guò)紫外線(xiàn)和紅外線(xiàn)，并且除氫氟酸、熱磷酸外，對(duì)一般酸有較好的耐酸性，在半導(dǎo)體工業(yè)中多個(gè)環(huán)節(jié)均有應(yīng)用。
2、在半導(dǎo)體材料合成工段中，石英管清洗需要用到鉻酸、王水等浸泡，以去除管內(nèi)油污與金屬雜質(zhì)。處理場(chǎng)所一般在無(wú)塵車(chē)間的無(wú)機(jī)清洗柜中進(jìn)行，且處理過(guò)程中需要使用石英管放置架放置石英管?，F(xiàn)有的石英管放置架可放置石英管的數(shù)量有限，且在不使用時(shí)仍需占據(jù)較大的空間。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此，本申請(qǐng)的目的是提供一種用于放置石英管的裝置，用于解決現(xiàn)有的石英管放置架可放置石英管的數(shù)量有限，且在不使用時(shí)仍需占據(jù)較大的空間的問(wèn)題。
2、為達(dá)到上述技術(shù)目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N用于放置石英管的裝置，包括：底板、支撐板與多個(gè)掛塊；
3、所述支撐板與所述底板組成可折疊結(jié)構(gòu)；
4、所述支撐板上貫穿設(shè)置有多個(gè)卡孔；
5、在所述可折疊結(jié)構(gòu)伸展?fàn)顟B(tài)下，所述掛塊可拆卸卡接于所述卡孔上，且所述掛塊的兩端均伸出所述支撐板外；
6、所述掛塊的兩端均設(shè)置有用于放置石英管的掛口。
7、進(jìn)一步地，所述底板的端部與所述支撐板的端部可翻轉(zhuǎn)連接。
8、進(jìn)一步地，還包括支撐件；
9、所述支撐件可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述底板或支撐板上；
10、在所述可折疊結(jié)構(gòu)伸展?fàn)顟B(tài)下，所述支撐件的兩端分別抵接所述底板和所述支撐板。
11、進(jìn)一步地，所述支撐件一端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述支撐板；
12、所述底板上設(shè)置有供所述支撐件另一端卡入的凹槽。
13、進(jìn)一步地，所述支撐件為u型支架結(jié)構(gòu)；
14、所述支撐件的開(kāi)口端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述支撐板。
15、進(jìn)一步地，在所述可折疊結(jié)構(gòu)伸展?fàn)顟B(tài)下，所述支撐板相對(duì)于所述底板呈傾斜設(shè)置；
16、所述掛塊兩端的所述掛口中，至少一端的所述掛口為開(kāi)口鉤狀。
17、進(jìn)一步地，所述掛塊兩端的所述掛口中，一端的所述掛口為開(kāi)口鉤狀，另一端的所述掛口為u型槽狀；
18、所述掛塊卡接所述卡孔后，開(kāi)口鉤狀的所述掛口位于所述支撐板下方。
19、進(jìn)一步地，所述卡孔上開(kāi)設(shè)有限位槽；
20、所述掛塊上設(shè)置有凸起的限位塊；
21、所述掛塊卡接所述卡孔時(shí)，所述限位塊卡入所述限位槽內(nèi)。
22、進(jìn)一步地，所述支撐板的頂面設(shè)置有放置槽；
23、所述卡孔設(shè)置于所述放置槽內(nèi)。
24、進(jìn)一步地，多個(gè)所述卡孔兩兩對(duì)齊；
25、所述掛塊與所述卡孔一一對(duì)應(yīng)連接，以使多個(gè)所述掛塊兩兩對(duì)齊成用于放置石英管的一組。
26、從以上技術(shù)方案可以看出，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N用于放置石英管的裝置，包括：底板、支撐板與多個(gè)掛塊；所述支撐板與所述底板組成可折疊結(jié)構(gòu)；所述支撐板上貫穿設(shè)置有多個(gè)卡孔；在所述可折疊結(jié)構(gòu)伸展?fàn)顟B(tài)下，所述掛塊可拆卸卡接于所述卡孔上，且所述掛塊的兩端均伸出所述支撐板外；所述掛塊的兩端均設(shè)置有用于放置石英管的掛口。
27、本方案中支撐板與底板組成可折疊結(jié)構(gòu)，從而在不使用時(shí)可以折疊收納，節(jié)省其占用的空間；在使用時(shí)，掛塊卡接卡孔后，掛塊兩端均設(shè)置有掛口，從而相比于現(xiàn)有的石英管放置架可以有效增加石英管的放置量，解決現(xiàn)有的石英管放置架可放置石英管的數(shù)量有限，且在不使用時(shí)仍需占據(jù)較大的空間的問(wèn)題。
1.一種用于放置石英管的裝置，其特征在于，包括：底板(1)、支撐板(2)與多個(gè)掛塊(3)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，所述底板(1)的端部與所述支撐板(2)的端部可翻轉(zhuǎn)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，還包括支撐件(4)；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，所述支撐件(4)一端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述支撐板(2)；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，所述支撐件(4)為u型支架結(jié)構(gòu)；
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，在所述可折疊結(jié)構(gòu)伸展?fàn)顟B(tài)下，所述支撐板(2)相對(duì)于所述底板(1)呈傾斜設(shè)置；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，所述掛塊(3)兩端的所述掛口(31)中，一端的所述掛口(31)為開(kāi)口鉤狀，另一端的所述掛口(31)為u型槽狀；
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，所述卡孔(21)上開(kāi)設(shè)有限位槽(22)；
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，所述支撐板(2)的頂面設(shè)置有放置槽(23)；
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置石英管的裝置，其特征在于，多個(gè)所述卡孔(21)兩兩對(duì)齊；