支持電子裝置測試的處理機的載板傳送系統及在處理機室中傳送載板的方法

專利名稱：支持電子裝置測試的處理機的載板傳送系統及在處理機室中傳送載板的方法
技術領域：
本發明涉及一種支持電子裝置測試的處理機，尤其是涉及一種傳送載板的技術。
背景技術：
用于支持測試器測試電子裝置的處理機有很多種，例如支持封裝狀態的半導體裝 置測試的處理機、支持模塊隨機存取內存(RAM)測試的處理機等。處理機一般使其上裝載多個電子裝置的載板(包含測試托盤)在預設循環路徑上 循環，藉以測試裝載在載板上的電子裝置。預設循環路徑上有測試位置，載板上的電子裝置 在此電連接測試器，然后進行測試。電子裝置在人為預置測試條件下經同化(assimilated)及測試。故處理機依測試 條件施加應力至電子裝置，接著電連接電子裝置和測試器。為此，處理機包括腔室，用于依 測試條件施加應力至電子裝置及隔絕外部空氣的熱，如此電子裝置可在維持施予電子裝置 的應力的環境中被測試。處理機可包括多個腔室。例如，具有施加溫度應力至電子裝置功能的處理機包括 均熱室(soak chamber)、測試室和除熱室(de-soak chamber) 0在載板傳送到測試位置前， 均熱室預先加熱/預先冷卻電子裝置。測試室維持電子裝置于均熱室預先加熱/預先冷卻 的溫度及進行測試。除熱室使從測試室傳遞來的載板上的電子裝置溫度恢復成接近室溫。 均熱室亦稱為預熱室、加熱室、結霜室、預熱器等。除熱室亦稱為恢復室、冷卻室、除霜室、除 霜器等。多份文件已刊載此技術。這樣，當處理機被構造成包括腔室時，腔室內部變成載板循環路徑的一部分。故處 理機需要傳送載板通過腔室內部的方法，并設置適用此方法的傳送系統。

發明內容
技術問題傳送腔室內部的載板的方法和載板傳送系統等相關技術在下述文件中公開名稱 為“模塊IC處理機室(CHAMBER OF MODULE IC HANDLER) ”的第10-0277539號韓國專利， 被稱為公知技術1 ；“名稱為“處理機冷卻室中的測試托盤傳送設備(TEST TRAY TRANSFER APPARATUS IN HANDLERCOOLING CHAMBER) ” 的第 10-0313007 號韓國專利，被稱為公知技 術2 ；名稱為“側入塢型測試處理機和傳送其測試托盤的設備(SIDE D0CKING-TYPETEST HANDLER AND APPARATUS FOR TRANSFERRING TEST TRAY FORTHE SAME) ” 的第 10-0771475 號韓國專利，被稱為公知技術3 ；名稱為“用于半導體裝置的測試處理機的測試托盤傳送設 備(TEST TRAY TRANSFERAPPARATUS OF TEST HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICES)” 的 第10-0771475號韓國專利號、被稱為公知技術4。公知技術1是關于在腔室內逐步傳送載板的方法和系統。在公知技術1中，載板 被稱為承載件。公知技術1所述的逐步傳送載板的方法只是一般傳送腔室內部的載板的方
4法。在此，“逐步”是指停止傳送載板時，各傳送操作間有傳送停止時間周期。此傳送停止時 間周期與裝載電子裝置到載板的時間周期、測試載板上的電子裝置的時間周期和自載板卸 載電子裝置的時間周期無關。公知技術1中公開的技術在傳送載板時應當確保傳送停止時間周期，因此載板的 傳送被延遲所述停止時間周期。故在需要循環時間周期很短的情況下，公知技術1在加快 載板傳送速度和整體循環速度的能力方面有限。需要循環時間周期很短的情況是指測試條 件所需的電子裝置的狀態應在短時間內抵達腔室內部，又因測試時間周期相對短，故應快 速循環傳送載板。特別地，公知技術1的缺點為，盡管二個載板(前一載板與下一載板)間沒有載 板且前一載板與下一載板間尚有空間放置載板，但仍無法傳送及放置下一載板靠近前一載 板，這造成載板傳送速度和整體循環速度增加有限。在公知技術2中，傳送系統按如下方式操作在降低的操作中可接收新載板，同時 傳送前一載板(公知技術2稱之為托盤)，然后執行接著的針對新的較低載板(即下一載 板)的傳送操作，以將其放置為靠近前一載板。然而，此傳送系統在各傳送操作間仍有傳送 停止時間周期，這也會造成公知技術1的問題。公知技術3和4試圖解決公知技術1和2的問題，即消除傳送停止時間周期。在公知技術3中，由于環狀軌道單元將載板(公知技術3稱之為測試托盤)傳送 到傳送終點且無傳送停止時間周期，故此系統可加快載板傳送速度和整體循環速度。然而公知技術3的系統仍有缺點，即當現位于環狀軌道單元最低側的拾取放置單 元拾取在循環路徑上循環的前一載板，且垂直姿態改變設備無法運轉時，若托盤放置設備 提供接著前一載板在循環路徑上循環的下一載板至現位于環狀軌道單元最高側的拾取放 置單元，則不可能收集在沿循環方向上相鄰的前一載板和下一載板。故公知技術3的系統 對載板傳送速度和整體循環速度的增加有限。在此，收集在循環方向上彼此相鄰的前一載 板和下一載板是指前一載板留在其目前位置，而下一載板事先傳送到靠近前一載板的位 置。在公知技術4中，系統被配置為使載板(公知技術4稱之為測試托盤)因傳送棒 旋轉而移動，并且依據控制伺服馬達的方法可產生或不產生傳送停止時間周期。然而公知技術4的系統仍有公知技術3的問題。技術方案為解決上述問題，本發明提出進行逐步傳送操作的載板傳送系統和方法，同時根 據條件消除傳送停止時間周期，并收集在腔室內彼此相隔且在載板傳送方向上彼此接近的 載板。根據本發明的示例性實施例，本發明提出一種傳送在支持電子裝置測試的處理機 中的載板的系統，包含傳送設備，用于選擇性傳送位于傳送起始位置的載板到至少一個或 多個中間傳送位置和傳送最終位置之一；以及至少一個或多個支撐設備，用于支撐或松開 位于所述至少一個或多個中間傳送位置的載板。優選地，系統還包括引導設備，用于引導傳送到傳送起始位置的載板及支撐或松 開位于傳送起始位置的載板。優選地，系統還包括維持設備，用于托住位于傳送最終位置的載板。
優選地，系統還包括支撐板，固定于系統，用于支撐載板的一個邊緣部分。支撐設 備包含支撐構件，用于支撐或松開載板的另一個邊緣部分；以及搬動器，用于沿著接近或 遠離載板的方向移動支撐構件。優選地，若系統具有多個支撐設備，則支撐設備被獨立且對應地操作。優選地，傳送設備包含至少二個或多個拾取單元，用于拾取或松開載板；以及傳 送單元，用于沿著載板的傳送方向傳送所述至少二個或多個拾取單元，以使由所述至少二 個或多個拾取單元所拾取的載板可選擇性傳送到所述至少一個或多個中間傳送位置和傳 送最終位置之一。優選地，拾取單元包括拾取軸，其具有沿著載板傳送方向的相對較長的長度；以 及驅動源，用于在一定角度范圍內順向或逆向轉動拾取軸。拾取軸被構造成其一端結合到 驅動源，另一端包括至少一個或多個拾取端，所述至少一個或多個拾取端突出來支撐載板 的邊緣部分或轉角。優選地，傳送單元包括螺桿軸，其具有沿著載板傳送方向的相對較長的長度 ’馬 達，用于在一定角度范圍內順向或逆向轉動螺桿軸；以及聯結板。聯結板以螺旋方式連接螺 桿軸，且根據螺桿軸的轉動沿著載板的傳送方向往復移動。此外，所述至少二個或多個拾取 單元連接至聯結板。根據本發明的另一示例性實施例，本發明提出一種傳送在支持電子裝置測試的處 理機室內的載板的方法，包含選擇性傳送位于傳送起始位置的載板到至少一個或多個中 間傳送位置和傳送最終位置之一。若前一個載板位于傳送最終位置，則下一個位于傳送起 始位置的載板則會傳送到所述至少一個或多個中間傳送位置。優選地，沿著垂直于載板的裝載表面的方向傳送載板，在該裝載表面上裝載有電 子裝置。根據本發明又一示例性實施例，本發明提出一種支撐在支持電子裝置測試的處 理機中的載板的設備，包含第一支撐部，用于支撐或松開載板的一個邊緣部分；第二支撐 部，用于支撐或松開載板的另一個邊緣部分。在此，第二支撐部包含支撐構件，用于支撐 載板的另一個邊緣部分；以及搬動器，用于沿著接近或遠離載板的方向移動支撐構件。搬 動器包含轉軸，其具有沿著載板傳送方向的相對較長的長度；轉動構件，其一端固定于轉 軸，且另一端系可旋轉地結合到支撐構件，其中該另一端相應轉軸的轉動相對該一端旋轉； 以及驅動源，用于以往復運動的形式在一定角度范圍內順向或逆向轉動轉軸。優選地，搬動器還包括輔助單元，用于協助支撐構件根據轉軸的轉動而平衡地移 動。有益效果如前所述，由于根據本發明的系統可根據條件具有或不具有傳送停止時間周期， 并可收集在腔室內相隔且載板循環方向上相鄰的載板，故其具有下列功效第一，其可加快載板傳送速度和整體循環速度。第二，其可控制載板傳送速度，進而根據測試條件快速或緩慢地傳送載板。


通過下面結合附圖進行的詳細描述，本發明的特征和優點將變得更加明顯，其中圖1為示出了應用了根據本發明第一實施例的載板傳送方法的腔室的示意性透 視圖；圖2為示出了根據本發明第一實施例的載板傳送系統的示意性透視圖；圖3為示出了適用于圖2的載板傳送系統的引導設備的主要部分的透視圖；圖4和5為示出了圖3的引導設備的操作狀態的視圖；圖6為示出了適用于圖2的載板傳送系統的傳送設備的主要部分的透視圖；圖7-10表示示出了圖6的傳送設備的操作狀態的視圖；圖11為示出了適用于圖2的載板傳送系統的第一支撐設備和第二支撐設備的主 要部分透視圖；圖12為示出了圖11的第一支撐設備的主要部分的透視圖；圖13為根據本發明一個實施例的載板傳送系統的維修特征的視圖；圖14為示出了圖6的傳送設備的應用示例的示意圖；圖15示出了在圖14中示出的傳送設備的操作狀態的視圖；圖16為示出了應用根據本發明第二實施例的載板傳送方法的腔室的示意性透視 圖；圖17為示出了根據本發明第二實施例的載板傳送系統的示意性透視圖；圖18為示出了適用于圖17的載板傳送系統的傳送設備的主要部分的透視圖；圖19為示出了除了圖17中示出的載板傳送系統的傳輸設備以外的部分的透視 圖；以及圖20-23表示示出了圖17中示出的載板傳送系統的操作的視圖。主要組件符號說明2000 載板傳送系統2100:引導設備2200 傳送設備2300 第一支撐設備2400 第二支撐設備2500 維持設備
具體實施例方式以下將參照附圖詳細說明支持測試電子裝置的處理機的載板傳送系統(簡稱傳 送系統)和傳送在支持電子裝置的測試的處理機的室內的載板的方法(簡稱傳送方法)實 施例。重復的組件將不再贅述，以免渾淆本發明的主題。〈實施例1>圖1顯示了腔室CH，在此，載板CB順著箭頭指示的傳送流程Fw在傳送部分被傳 送，且保持水平狀態。參照圖1，載板CB進入腔室CH的前側壁Fr的上部及并就位于傳送起始位置S。根 據本發明的系統開始自傳送起始位置S傳送載板CB。即，傳送系統開始從傳送起始位置S 傳送載板CB，降低載板CB以通過第一中間位置M1和第二中間位置M2,將載板停放在傳送最終位置E，在此終止傳送載板CB。載板CB從傳送最終位置E經由腔室CH的右側壁Ri的下 部被輸出到外面。為沿著圖1中所示的傳送流程Fw傳送載板CB，腔室CH包括在其前側壁Fr的上部 的入口，在其右側壁Ri的下部的出口。入口被實現為設置成由門(未顯示)打開或關閉。 載板CB從入口進入并由出口離開。出口可被實現成由門打開或關閉。然而，若另一腔室正好被安裝為鄰近腔室CH 旁，則腔室CH的出口最好不設置門。載板CB由非為本發明的傳送系統的傳送設備的部分的其它傳送系統輸入入口及 從出口輸出。由于這些傳送設備被廣為人知，故不在本申請中進行說明。圖2為示出載板傳送系統2000的透視圖，該載板傳送系統2000用于傳送圖1的 腔室CH內的載板CB。如圖2所示，根據本發明實施例的傳送系統2000安裝在腔室CH的內部和外部。傳 送系統2000被構造為包括引導設備2100、傳送設備2200、第一支撐設備2300、第二支撐設 備2400和維持設備2500。1.引導設備2100引導設備2100從腔室CH外部引導載板CB至腔室CH中的傳送起始位置S，接著在 傳送起始位置S處，或自該位置支撐或松開載板CB。為此，如圖3所示，引導設備210被構 造成包括用于引導及支撐載板CB左側的第一導軌部2110和用于引導及支撐載板CB右側 的第二導軌部2120。第一導軌部2110和第二導軌部2120位于引導設備2100的相對兩側 (左側和右側)。第一導軌部2110包括第一導桿2111和第一間隔調節器2112。第一導桿2111引導現進入的載板CB左側及支撐位于傳送起始位置S的載板CB 左側，以防載板掉落。第一導軌部2110具有朝左邊方向伸出的聯結端2111a。第一間隔調節器2112能讓第一導桿2111支撐或松開載板CB的左側。第一間隔 調節器2112被構造成包括間隔調節軸2112a、間隔調節構件2112b、驅動源2112c和輔助單 元 2112d。間隔調節軸2112a在沿著載板CB的傳送方向(即上下方向)上具有較長的長度。 驅動源2112c在一定角度范圍內順向或逆向轉動間隔調節軸2112a，驅動源2112c的上端被 安裝到腔室CH的頂側壁To。間隔調節構件2112b被構造成其左端固定至間隔調節軸2112a的下端或與間隔調 節軸2112a的下端一體地形成，其右端可旋轉地結合到聯結端2111a。當驅動源2112c操作 使間隔調節軸2112a順向或逆向轉動時，間隔調節構件2112b的右端亦相對間隔調節構件 2112b的左端順向或逆向轉動一定角度。驅動源2112c安裝到腔室CH的頂側壁To外面。驅動源2112c在一定角度范圍內 順向或逆向轉動間隔調節軸2112a。在本發明的實施例中，驅動源2112c采用馬達，然應理 解本發明不限于此實施例。例如，驅動源可用汽缸實現。輔助單元2112d協助第一導桿2111根據間隔調節軸2112a的轉動而平衡地移動。 輔助單元2112d被構造成包括輔助軸2112d-l和輔助構件2112d-2。輔助軸2112d-l被構造成平行于間隔調節軸2112a并與之相隔一定距離，且其上端可選轉地結合到腔室CH的頂側壁To。輔助構件2112d-2對應于間隔調節構件2112b，并被構造成其左端被固定于輔助 軸2112d-l的下端，右端則可旋轉地結合到第一導桿2111的聯結端2111a。第二導軌部2120被構造成包括第二導桿2121和第二間隔調節器2122。第二導桿2121引導現進入的載板CB右側，且在載板CB進入后支撐位于傳送起始 位置S的載板CB右側，以防載板掉落。第二間隔調節器2122能讓第二導桿2121支撐或松開載板CB的右側。第二間隔 調節器2122包括被安裝為彼此相隔一定距離的一對汽缸2122a、2122b。該對汽缸2122a、2122b被構造成其汽缸體2122a_l、2122b_l被安裝到腔室CH的 右側壁Ri外面，且其活塞桿2122a-2、2122b-2延伸穿過腔室CH的右側壁Ri并結合到第二 導桿2121。在本發明的實施例中，雖然第二導軌部2120相對于第一導軌部2110以更簡單 的方式構造，但應理解二者可根據腔室CH右側壁的使用狀態、載板CB的傳送方式、腔室CH 的右部空間所安裝的其它設備的構造等而具有相同的構造。以下將描述引導設備2100的操作。圖4和圖5為從頂部看到的示出了圖3的引導設備2100的操作狀態的視圖。如圖4所示，在第一和第二導桿2111、2121的間距(I1縮減(即窄)的狀態，載板 CB由第一導桿2111和第二導桿2121引導，然后放到傳送起始位置。接著，如圖5所示，當載板CB由下面將描述的傳送設備2200支撐時，驅動源2112c 操作以順向(參見箭頭方向)轉動間隔調節軸2112a，使傳送設備2200降低載板CB，而一對 汽缸2122a、2122b操作以拉回活塞桿2122a-2、2122b-2，使第一導桿2111和第二導桿2121 的間距d2變寬而解除對載板CB的支撐。此外，傳送設備2200自傳送起始位置S降低載板CB，汽缸2122a、2122b和驅動源 2112c反向操作以引導及支撐在載板CB之后的載板CB，接著縮短第一和第二導桿2111、 2121的間距，使圖5的狀態變成圖4的狀態。2.傳送設備2200傳送設備2200將載板CB自傳送起始位置降至傳送最終位置。為此，如圖6所示， 傳送設備2200包括位于其前側的一對拾取單元2211、2212、位于其后側的一對拾取單元 2213、2214、和傳送單元2220。四個拾取單元2211、2212、2213、2214分別對應地包括拾取軸2211a、2212a、 2213a、2214a和驅動源2211b、2212b、2213b、2214b。傳送單元2220包括螺桿軸2221、馬達 2222和聯結板2223。拾取軸2211a、2212a、2213a、2214a在垂直方向上具有相對較長的長度，并且延伸 穿過腔室CH的頂側壁To。它們的下端分別對應地具有拾取端2211a-l、2212a-l、2213a-l、 2214a-l，這些拾取端突出形成以支撐載板CB的邊緣部分或轉角。驅動源2211b、2212b、2213b、2214b被安裝為結合到位于腔室CH上側的聯結板 2223。驅動源在一定角度范圍內順向或逆向轉動與之相連的拾取軸2211a、2212a、2213a、 2214a。在本發明的實施例中，盡管驅動源2211b、2212b、2213b、2214b采用馬達，然而應理 解其也可采用汽缸。當拾取軸2211a、2212a、2213a、2214a根據驅動源2211b、2212b、2213b、 2214b操作而順向或逆向轉動時，拾取端2211a-l、2212a-l、2213a-l、2214a-l也根據拾取軸的轉動順向或逆向旋轉，使拾取端得以支撐或松開載板CB。雖然根據本發明的實施例的傳送設備2200包括兩對拾取單元，即四個拾取單元， 其各具有拾取端，但應理解，若拾取端有相當長的長度來托住載板CB的邊緣部分，則傳送 設備2200可只由位于其前側和后側一對拾取單元實現。又應理解，若拾取端有相當寬的面 積來托住載板CB，則傳送設備2200可只由位于其左側和右側的一對拾取單元來實現。螺桿軸2221沿著載板CB的傳送方向具有相對較長的長度，且被構造為其下端可 旋轉地結合到腔室CH的頂側壁To，上端結合到馬達2222并根據馬達2222的轉動旋轉。馬達2222固定于處理機的上框架HP，并順向或逆向轉動螺桿軸2221。優選地，馬 達2222采用伺服馬達，藉以精確控制轉動量。聯結板2223被構造成其前側和后側的端部都結合到拾取單元2211、2212、2213、 2214的驅動源2211b、2212b、2213b、2214b，且其中心具有螺紋孔2223a供螺桿軸2221延伸穿過。當馬達2222順向或逆向轉動時，螺桿軸2221亦隨之旋轉，使得聯結板2223上升 或下降。故兩對拾取單元2211、2212、2213、2214也隨著聯結板2223上升或下降。以下將詳述傳送設備2200的操作和傳送載板CB的方法。如圖7所示，當引導設備2100支撐傳送起始位置S的載板CB時，傳送單元2220 抬高拾取單元2211、2212、2213、2214。隨后，拾取單元2211、2212、2213、2214抬高及拾取傳 送起始位置S的載板CB，接著引導設備2100操作來放開載板CB。然后，當傳送單元2220反向操作降低拾取單元2211、2212、2213、2214時，如圖 8-10所示，拾取單元讓載板CB選擇性降至第一中間傳送位置M1、第二中間傳送位置M2和傳 送最終位置E之一。例如，若載板CB在第二中間傳送位置M2和傳送最終位置E之前傳遞，則按照圖8 進行傳送，此稱為示例1。若載板CB僅在傳送最終位置E之前傳遞，則按照圖9進行傳送， 此稱為示例2。若在第一和第二中間傳送位置M”M2和傳送最終位置E之前都無載板CB傳 遞，則按照圖10進行傳送，此稱為示例3。如圖6所示，由于傳送單元2220根據在下一載板CB之前傳送的前一載板CB的位 置，將下一載板CB降低一定高度，因此在第一中間傳送位置M1或第一中間傳送位置M1和第 二中間傳送位置M2處不需要傳送停止時間周期，如同示例2、3所述。S卩，傳送單元2220可 將某一傳送起始位置的載板CB傳送到某一傳送最終位置，而不需停止。此外，當載板CB位于腔室CH內且彼此相隔時，圖6的傳送單元2220將前一載板 CB保持在目前位置并沿著前一載板CB的傳送方向傳送下一載板CB，如同示例1、2所述。因 此，傳送單元2220可沿著傳送方向收集腔室CH內相隔的載板CB。另外，若載板CB位于第一中間傳送位置M1和第二中間傳送位置M2和傳送最終位 置E，則載板CB經由出口(參見圖1)從傳送最終位置E輸出到外面，圖6的傳送單元2220 接著將第二中間傳送位置M2的載板CB傳送到傳送最終位置E，并將第一中間傳送位置M1的 載板CB傳送到第二中間傳送位置M2。3.支撐設備 2300、2400如圖11所示，第一支撐設備2300支撐或松開位于第一中間傳送位置M1的載板CB， 第二支撐設備2400亦支撐或松開位于第二中間傳送位置M2的載板CB。第一支撐設備2300和第二支撐設備2400獨立操作以實現本發明的目的。然而，因第一支撐設備2300和第二 支撐設備2400的構造和操作相同，故以下僅說明第一支撐設備2300。參照圖12，第一支撐設備2300支撐或松開第一中間傳送位置M1的載板CB。為此， 第一支撐設備2300包括支撐載板CB前緣部分的第一支撐部2310和支撐載板CB后緣部 分的第二支撐部2320，在此，第一支撐部2310和第二支撐部2310、2320位于第一支撐設備 2300的相對兩側(前側和后側)。第一支撐部2310包括第一支撐構件2311和第一搬動器2312。第一支撐構件2311支撐位于第一中間傳送位置M1的載板CB前緣部分，以防載板掉落。第一搬動器2312能讓第一支撐構件2311支撐或松開載板CB的前緣部分。第一 搬動器2312包括彼此隔開一定距離的一對汽缸2312a、2312b。汽缸2312a、2312b被構造成其汽缸體2312a_l、2312b_l安裝到腔室CH的前側壁 Fr外面，其活塞桿2312a-2、2312b-2分別延伸穿過腔室CH的前側壁Fr并結合到第一支撐 構件2311。第二支撐部2320包括第二支撐構件2321和第二搬動器2322。第二支撐構件2321支撐位于第一中間傳送位置M1的載板CB后緣部分，以防載板 掉落。第二支撐構件2321包括朝后方伸出的聯結端2321a。第二搬動器2322能讓第二支撐構件2321支撐或松開載板CB的后緣部分。第二 搬動器2322包括轉軸2322a、轉動構件2322b、驅動源2322c和輔助單元2322d。轉軸2322a沿著載板CB的傳送方向的長度較長，其上端由安裝到腔室CH的頂側 壁To的驅動源2322c在一定角度范圍內順向或逆向轉動。轉動構件2322b被構造為其后端固定到轉軸2322a的下端或與轉軸2322a的下端 一體第形成，其前端可旋轉地結合到第二支撐構件2321的聯結端2321a。當驅動源2322c 操作使轉軸2322a順向或逆向轉動時，其前端亦作為轉軸相對其后端在一定角度內順向或 逆向轉動。驅動源2322c安裝到腔室CH的頂側壁To外面，并在一定角度范圍內順向或逆向 轉動轉軸2322a。輔助單元2322d協助第二支撐構件2321以根據轉軸2322a的轉動平衡地移動。輔 助單元2322d的構造和操作與引導設備2100的輔助單元2112d相同，故省略對其特征的詳 細描述。由于第一支撐設備2300和第二支撐設備2400的操作實質上與上述弓丨導設備2100 相同，故不再贅述。4.維持設備2500維持設備2500支撐傳送最終位置E的載板CB。如圖2所示，其包括托住載板CB 前緣部分的第一維持部2510和托住載板CB后緣部分的第二維持部2520。維持設備2500可形成為用來托住載板CB。雖然本發明被實現為包括維持設備 2500，但也可修改部分腔室CH底面，使其突出來托住載板CB，而不利用維持設備2500。因 維持設備2500亦可單獨制備，故根據本發明，此非傳送系統2000的必要組件。5.維修相關的特征的說明
若腔室CH內發生擁塞的情形，則需將載板CB自腔室CH內強迫送出。發生擁塞時，可從腔室CH的前側壁Fr上的入口強迫移出引導設備2100所支撐的 載板CB。在此例子中，腔室CH最好具有門來打開其整個左側壁Le，如第2圖所示。若另一 腔室鄰接腔室CH右側，則第一支撐設備2300和第二支撐設備2400與維持設備2500所支 撐的載板CB應經由腔室CH的左側壁Le離開。該構造意味著第一間隔調節器2112的驅動源2112c不能設在腔室CH的左側壁 Le，如圖3所示。故不像第二間隔調節器2122，第一間隔調節器2112的驅動源2112c可安 裝到腔室CH的頂側壁To。雖然腔室CH被實現為具有門來打開其整個左側壁Le，但若其它設備的零件無法 經由該門替換及維修，這可能造成難題。故腔室CH優選具有門來打開其整個后側壁Re (參 見第2圖)。故如圖12所示，不像第一搬動器2312，第二搬動器2322的驅動源2322c安裝到腔 室CH的頂側壁To。6.送入載板相關的特征結構說明圖13是示出了為從頂部看到的圖6中的兩對拾取單元2211/2212、2213/2214的 視圖。參照圖13，后側拾取單元2213、2214的拾取端2213a-l、2214a-l支撐載板CB的后緣 部分。前側拾取單元2211、2212的拾取端2211a-l、2212a-l沿著對角線方向支撐載板CB 的前緣部分。此構造可避免由入口輸入并進入腔室的載板CB妨礙拾取軸2211a、2212a，還 可避免維修時通過左側壁Le移開的載板CB妨礙拾取軸2212a。如此，在右前側的拾取軸 2211a可支撐在右方而非在對角方向的載板CB。〈實施例1的應用實例〉在實施例1被實現為一個拾取軸(即2211a ；2212a ；2213a ；2214a)分別對應 地只有一個拾取端(即2211a-l ；2212a-l ；2213a_l ；2214a_l)。然而，如圖14所示，實施 例1可修改成一個拾取軸(即2211a-0 ；2212a-0 ；2213a_0 ；2214a_0)分別對應地設有二 個拾取端(即 2211a-01、2211a-02 ；2212a-01、2212a_02 ；2213a-01、2213a_02 ；2214a_01、 2214a-02)。圖14的應用實例具有以下優點。如圖15所示，存在這樣的情況傳送最終位置E 的載板CB應當輸出到腔室CH外面，接著二個載板CB應當分別從第一中間傳送位置M1和 第二中間傳送位置M2傳送到第二中間傳送位置M2和傳送最終位置E。為此，將可理解一個 拾取軸(即2211a-0 ；2212a-0 ；2213a-0 ；2214a-0)被構造成分別對應地具有二個拾取端 (即 2211a-01、2211a-02 ；2212a-01、2212a_02 ；2213a-01、2213a_02 ；2214a-01、2214a_02)， 從而同時傳送二個載板CB。應理解本發明可被實現為各拾取軸具有三個拾取端。雖然實施例1被實現為將四個載板CB置于腔室CH，但應理解可修改為在腔室CH 內可放置五個或更多個載板CB。在此情況下，將可理解每個拾取軸可具有三或更多個拾取 端。〈實施例2>圖16顯示了腔室CH，在該腔室中載板CB順著箭頭指示的傳送流程Fw在傳送部分 傳送且保持垂直狀態，這不同于實施例1。參照圖16，載板CB以垂直方向進入腔室CH的頂側壁To的正面，然后就位于傳送起始位置S。隨后，載板CB從傳送起始位置S經由第一中間傳送位置M1和第二中間傳送位 置M2傳送到傳送最終位置E，即從腔室CH的前側到后側，接著從傳送最終位置E經由腔室 CH的右側壁Ri的后部輸出到腔室CH外面。為順著圖16傳送流程Fw傳送載板CB，腔室CH的頂側壁To的前面設有入口，其右 側壁Ri的后面設有出口。入口被實現為由門(未繪示)打開或關閉。圖17為示出用于傳送圖16腔室CH內的載板CB的載板傳送系統3000的透視圖。如圖17所示，根據本發明的實施例的傳送系統3000包括傳送設備3100、第一支撐 設備3200、第二支撐設備3300、支撐板3400和維持設備3500。1.傳送設備3100傳送設備3100將傳送起始位置S的載板CB傳送到后側的傳送最終位置E。為此， 如圖18所示，傳送設備3100包括一對在其上側的拾取單元3110、3120、一對在其下側的拾 取單元3130、3140、和傳送單元3150。四個拾取單元3110、3120、3130、3140分別對應地包括拾取軸3111、3121、3131、 3141和驅動源3112、3122、3132、3142。傳送單元3150包括螺桿軸3151、馬達3152和聯結 板 3153。拾取軸3111、3121、3131、3141在前后方向上具有相對較長的長度，并且延伸穿 過腔室CH的前側壁Fr。所述拾取軸3111、3121、3131、3141在其后端分別對應地具有拾 取端3111a、3121a、3131a、3141a，這些拾取端突出地形成韓文字符” C”(在韓文中被讀作 “Digeut”，以支撐載板CB的邊緣部分或轉角。驅動源3112、3122、3132、3142安裝到結合到位于腔室CH前側的聯結板3153。驅 動源在一定角度范圍內順向或逆向轉動拾取軸3111、3121、3131、3141。螺桿軸3151沿著載板CB的傳送方向(即前后方向)的長度較長，且其后端可旋 轉地結合到腔室CH的前側壁Fr，前端結合到馬達3152并根據馬達3152的轉動旋轉。馬達3152固定地設置以順向或逆向轉動螺桿軸3151。聯結板3153被構造成其上側和下側的端部連接到拾取單元3110、3120、3130、 3140的驅動源3112、3122、3132、3142，且其中心具有螺紋孔3153a供螺桿軸3151穿過。除了實施例2的傳送設備3100是以垂直狀態傳送載板CB，實施例1的傳送設備 2200是以水平狀態傳送載板CB，實施例1與2的構造和操作方法相似，故以下將不再贅述 傳送設備3100的操作。2.支撐設備3200、3300和支撐板3400第一支撐設備3200支撐或松開位于第一中間傳送位置M1的載板CB下緣部分。第 二支撐設備3300支撐或松開位于第二中間傳送位置M2的載板CB下緣部分。支撐板3400 支撐位于第一中間傳送位置M1和第二中間傳送位置M2的載板CB上緣部分。因第一和第二支撐設備3200、3300的構造和操作相似，故以下僅詳細說明第一支 撐設備3200。參照圖19，第一支撐設備3200包括支撐構件3210和搬動器3220。支撐構件3210 支撐位于第一中間傳送位置M1的載板CB下緣部分，以防載板掉落。搬動器3220能讓支撐構件3210支撐或松開載板CB的下緣部分。搬動器3220包 括彼此隔開一定距離的一對汽缸3221、3222。
一對汽缸3221、3222被設置成其汽缸體3221a、3222a被安裝到腔室CH的下側壁 Bo外面，其活塞桿322lb、3222b分別延伸穿過腔室CH的下側壁Bo而結合到支撐構件3210。支撐板3400固定地設于第一支撐設備3200和第二支撐設備3300的上方及對面。 支撐板3400亦具有分別對應第一中間傳送位置M1和第二中間傳送位置M2的支撐槽3410、 3420。支撐槽3410、3420分別容納載板CB的上緣部分。實施例2的第一支撐設備3200與第二支撐設備3300和支撐板3400對應于實施 例1的第一支撐設備2300和第二支撐設備2400，但二者的構造不同。為了支撐第一中間傳送位置M1和第二中間傳送位置M2的載板CB，實施例2的第 一支撐設備3200與第二支撐設備3300和支撐板3400的構造也可與實施例1相同。然而 實施例1與2的構造差異在于所傳送的載板CB的姿態。一般而言，若載板CB于腔室CH內以垂直狀態傳送，則傳送系統的上側設有姿態改 變設備(未繪示)，姿態改變設備改變載板CB的姿態后，接著將載板CB降至傳送起始位置 S。在以垂直狀態傳送腔室CH內的載板CB的傳送系統中，若載板CB的上緣部分是通 過驅動源的驅動力被支撐或松開，則供驅動源安裝的空間和供上升/下降組件(支撐組件) 升降的空間不允許安裝姿態改變設備。故在此例子中，需要復雜的設計，否則無法提供安裝 姿態改變設備的空間。為解決此問題，實施例2的傳送系統3000被實現為固定設置的支撐板3400支撐 載板CB的上緣部分。3.維持設備3500維持設備3500支撐傳送最終位置E的載板CB。如圖19所示，其包括第一維持部 3510、上升/下降單元3520和第二維持部3530。第一維持部3510托住位于傳送最終位置E的載板CB下緣部分。上升/下降單元3520抬高或降低第一維持部3510，以免妨礙傳送至傳送最終位置 E的載板CB。上升/下降單元3520包括一對汽缸3521、3522。第二維持部3530托住位于傳送最終位置E的載板CB上緣部分。應理解本實施例可被實現為采用移動軌道來抬起傳送最終位置E的載板CB達一 定高度，而不利用維持設備。由于維持設備3500可自傳送系統分離，因此其非本發明的必 要組件。4.傳送系統的操作及傳送方法參照圖20，在載板CB降低至傳送起始位置S之前，傳送單元3150先操作使拾取軸 3111、3121、3131、3141的拾取端3111a、3121a、3131a、3141a引導及支撐將位于傳送起始位 置S的載板CB。如圖20所示，當載板CB以垂直狀態下降及進入腔室CH時，其下緣部分和上端部 的左右兩側皆由拾取軸3111、3121、3131、3141的拾取端3111a、3121a、3131a、3141a適當支 撐，如圖21所示。因實施例2的傳送系統3000操作方式為利用拾取端3111a、3121a、3131a、 3141a降低載板CB至傳送起始位置S、或引導及支撐傳送起始位置S的載板CB，故其不需實 施例1的引導設備2100。然而實施例2的傳送系統3000還可包括該引導設備來加快載板 CB的傳送速度。例如，傳送系統3000可根據是否以上下方向或前后方向傳送載板CB、或根
14據載板CB的傳送速度，選擇性包括引導設備3100。如實施例1所述，傳送單元3150操作以選擇性傳送載板CB至第一中間傳送位置 M1、第二中間傳送位置禮和傳送最終位置E之一。以下將說明逐步傳送載板CB的方法，藉以 清楚了解根據本發明的傳送系統3000的操作。例如，若處于圖21的狀態的傳送單元3150 操作傳送載板CB至第一中間傳送位置M1 (如圖22所示)，則第一支撐設備3200 (如圖23 所示)操作以支撐及抬起載板CB，使載板CB的上緣部分插進支撐槽3410中。即如圖23所 示，載板CB的下緣部分由第一支撐設備3200的支撐構件3210支撐，載板CB的上緣部分由 支撐板3400支撐。如上所述，從傳送起始位置S傳送載板CB至第一中間傳送位置M1的方法，同樣可 應用到從第一中間傳送位置M1傳送載板CB至第二中間傳送位置M2的情況，及從第二中間 傳送位置M2傳送至傳送最終位置E的情況。本方法也可應用到從傳送起始位置S連續傳 送載板CB至第二中間傳送位置M2或傳送最終位置E、或從第一中間傳送位置M1至傳送最 終位置E的情況，且不需要傳送停止時間。在本發明的實施例中，傳送載板CB的同時，傳送系統可同時執行上升或下降移 動，即垂直于載板CB的傳送方向的往復運動。〈附加說明〉—般來說，載板CB是在處理機的均熱室或除熱室內逐步傳送。這樣做的原因之一 是為確保有充足的時間周期讓裝載至載板上的電子裝置在腔室中人為預置的環境中被同 化。因此，均熱室或除熱室應被實現為包括多個載板，并進行逐步傳送操作。為提高處理量，應增加用以將電子裝置裝載至載板上的表面及縮小處理機尺寸。 然裝而載表面增加及處理機尺寸縮小將無法實現傳送均熱室或除熱室內所容納的多個載 板，又保持對準且平行于裝載表面的構造。因此，系統被實現為載板可沿著垂直于電子裝置的裝載表面的方向在均熱室或除 熱室內被傳送。因此，本發明可應用到在腔室內部傳送載板的技術。根據本發明，可沿著垂直于電 子裝置的裝載表面的方向傳送載板。雖然在上文中已經詳細描述了本發明的示例性實施例，但是對于本領域技術人員 而言顯然應當理解在此描述的基本的發明構思的許多變化和修改，這些變化和修改仍然落 入由權利要求限定的本發明的示例性實施例的精神和范圍內。工業應用性本發明可應用于測試電子裝置的設備的技術領域。
權利要求
一種傳送在支持電子裝置測試的處理機中的載板的系統，該系統包含傳送設備，用于選擇性地傳送位于傳送起始位置的載板到至少一個或多個中間傳送位置和傳送最終位置之一；以及至少一個或多個支撐設備，用于支撐或松開位于所述至少一個或多個中間傳送位置的載板。
2.如權利要求1所述的系統，還包括引導設備，用于引導傳送到傳送起始位置的載板，并支撐或松開位于傳送起始位置的 載板。
3.如權利要求1所述的系統，還包括 維持設備，用于托住位于傳送最終位置的載板。
4.如權利要求1所述的系統，還包括支撐板，固定于該系統，用于支撐載板的一個邊緣部分，其中該支撐設備包含 支撐構件，用于支撐或松開載板的另一個邊緣部分；以及 搬動器，用于沿著接近或遠離載板的一個方向移動支撐構件。
5.如權利要求1所述的系統，其中，在該系統具有多個支撐設備的情況下，所述支撐設 備被獨立且對應地操作。
6.如權利要求1所述的系統，其中，該傳送設備包含 至少二個或多個拾取單元，用于拾取或松開載板；以及傳送單元，用于沿著載板的傳送方向傳送所述至少二個或多個拾取單元，以使由所述 至少二個或多個拾取單元所拾取的載板被選擇性地傳送到所述至少一個或多個中間傳送 位置和傳送最終位置之一。
7.如權利要求6所述的系統，其中，該拾取單元包含 拾取軸，其具有沿著載板傳送方向的相對較長的長度；以及 驅動源，用于在一定角度范圍內順向或逆向轉動拾取軸；其中拾取軸被構造成使其一端結合到驅動源，其另一端包括至少一個或多個拾取端， 所述至少一個或多個拾取端突出來支撐載板的邊緣部分或轉角。
8.如權利要求6所述的系統，其中該傳送單元包含 螺桿軸，其具有沿著該載板傳送方向的相對較長的長度； 馬達，用于在一定角度范圍內順向或逆向轉動該螺桿軸；以及 聯結板，其中，該聯結板以螺旋方式連接該螺桿軸，并根據該螺桿軸的轉動沿著載板傳送方向往復運 動；以及所述至少二個或多個拾取單元連接到該聯結板。
9.一種傳送在支持電子裝置測試的處理機室內的載板的方法，該方法包含 選擇性傳送位于傳送起始位置的載板到至少一個或多個中間傳送位置和傳送最終位置之一；其中，若前一個載板位于該傳送最終位置，則下一個位于該傳送起始位置的載板會被 傳送到所述至少一個或多個中間傳送位置。
10.如權利要求9所述的方法，其中該載板被沿著垂直于載板的裝載表面的方向傳送，在該裝載表面上裝載有電子裝置。
11.一種支撐在支持電子裝置測試的處理機中的載板的設備，該設備包含 第一支撐部，用于支撐或松開載板的一個邊緣部分；以及第二支撐部，用于支撐或松開該載板的另一個邊緣部分，其中該第二支撐部包含 支撐構件，用于支撐該載板的所述另一個邊緣部分；以及 搬動器，用于沿著接近或遠離該載板的方向移動支撐構件，其中該搬動器包含 轉軸，其具有沿著該載板傳送方向的相對較長的長度；轉動構件，其一端固定于該轉軸，且另一端可旋轉地結合到該支撐構件，其中所述另一 端根據轉軸的轉動相對所述一端旋轉；以及驅動源，用于以往復運動的形式在一定角度范圍內順向或逆向轉動該轉軸。
12.如權利要求11所述的設備，其中該搬動器還包括 輔助單元，用于協助支撐構件根據轉軸的轉動而平衡地移動。
全文摘要
本發明公開了傳送在支持電子裝置測試的處理機中的載板的系統和方法。載板可從傳送起始位置傳送到中間傳送位置和傳送最終位置之一。可沿著載板循環方向互相相鄰地收集腔室內彼此相隔的載板。可加快載板的傳送速度和整體循環速度。載板的傳送速度可根據測試條件而容易地控制。
文檔編號G01R31/26GK101910854SQ200980101516
公開日2010年12月8日 申請日期2009年1月19日 優先權日2008年1月29日
發明者全寅九, 呂東鉉, 權寧鎬, 羅閏成, 金烔秀 申請人:泰克元有限公司