本發明涉及一種絲網印刷機的平整度檢查方法，例如，涉及一種在絲網印刷機的工序中，能夠通過監測基板/掩模/臺面的平整度來檢查掩模與基板的貼合度不良，并能夠提高貼合度的絲網印刷機的平整度檢查方法。
背景技術：
1、絲網印刷機是將安裝于臺面的基板緊貼于掩模底表面，將焊膏推入掩模開口部并在基板上形成焊膏圖案的裝備。當通過這種絲網印刷機而在基板上形成焊膏圖案時，為了使焊膏圖案恒定，掩模底表面和基板上表面的貼合度是非常重要的要素。
2、影響掩模與基板的貼合度的要素有基板的厚度、掩模的平面度、臺面的平面度等。其中，由于對基板的厚度不會考慮各批次(lot)基板的厚度誤差，因而對貼合度不好。此外，對于掩模的平面度或臺面的平面度而言，也是由相應模塊的制造商在最初制造時進行測量，或僅在設備的初始設置(calibration)或定期檢查時進行測量和使用，因此對此后變形的部分沒有進行監測，由此在實際生產中的貼合度并不好。
3、此外，為了提高掩模和基板的貼合性，不但是掩模的平面度要良好，包括圍繞基板的臺面上表面和支撐塊的基板的平面度也要良好。
4、由此，在絲網印刷機的絲網印刷工序中，需要一種用于提高掩模與基板的貼合度的工序。
5、現有技術文獻
6、韓國授權專利第10-1273542號(2013.06.04)
技術實現思路
1、技術問題
2、本發明所要解決的技術問題在于，提供一種在絲網印刷機的絲網印刷工序之前或在進行絲網印刷工序時，能夠通過以多種方式檢測基板、支撐塊、臺面、基板翹曲以及掩模的平整度來提高掩模與基板的貼合度的絲網印刷機的平整度檢查方法。
3、本發明所要解決的技術問題并不局限于以上所提及的技術問題，本發明所屬技術領域的普通技術人員可以通過以下記載明確理解未提及的其他技術問題。
4、技術方案
5、根據本發明的實施例的絲網印刷機的平整度檢查方法，包括如下步驟：通過配備于所述絲網印刷機的傳感器部來校正在所述絲網印刷機的絲網印刷工序之前的平整度；以及在進行絲網印刷機的絲網印刷工序時校正平整度，其中，在所述絲網印刷機的絲網印刷工序之前，檢查所述絲網印刷機的基板、支撐塊及臺面的平整度，并在進行所述絲網印刷機的絲網印刷工序時，檢查所述絲網印刷機的基板的翹曲及掩模的平整度。
6、所述傳感器部包括激光傳感器，為了校正在所述絲網印刷機的絲網印刷工序之前的平整度以及校正在進行所述絲網印刷機的絲網印刷工序時的平整度，所述激光傳感器可以安裝于所述絲網印刷機的機架并移動到指定的位置。
7、在所述傳感器部測量的值被施加到控制部，并且所述控制部將測量的值與基準值進行比較，其中，在所述控制部中，所述基準值可以被配備為存儲相對于高度差的基準值、待測量位置的坐標值及在測量位置測量的基準高度值，并通過將測量值與所述基準值進行比較來檢測高度差。
8、校正在所述工序之前的平整度的步驟可以包括如下步驟：通過測量所述臺面和所述基板的高度來自動校正所述基板的高低度；通過測量所述臺面的邊緣夾具和支撐塊的高度來檢查所述支撐塊的正常設置；以及通過在所述臺面的邊緣板和頂板的指定位置的測量值來檢查所述臺面的平整度。
9、校正所述基板的高低度的步驟可以包括如下步驟：將所述基板移動并固定到用于印刷的位置；通過激光傳感器測量所述臺面上表面和所述基板上表面的高度；存儲所述臺面上表面的高度值和所述基板的上表面值；以及將所述臺面上表面的高度值和所述基板的上表面值的高度差與設定的基準值進行比較。
10、在比較所述高度差的步驟中，若所述高度差超過所述基準值，則可以通過馬達來調整所述臺面的高度，以使所述高度差小于所述基準值，從而校正所述基板的高低度。
11、檢查所述支撐塊的正常設置的步驟可以包括如下步驟：將激光傳感器移動到所述臺面的所述邊緣夾具的指定位置；通過所述激光傳感器測量所述邊緣夾具的距離值；將所述激光傳感器移動到所述支撐塊的指定位置；通過所述激光傳感器測量所述支撐塊的距離值；以及判斷所述邊緣夾具的距離值與所述支撐塊的距離值的差值是否超過設定的基準值。
12、在判斷所述距離值的差值的步驟中，所述差值超過所述基準值，則會產生誤差并中斷生產，并在所述差值未超過所述基準值時繼續進行絲網印刷工序。
13、檢查所述臺面的平整度的步驟可以包括如下步驟：將所述激光傳感器移動到所述臺面的邊緣板和頂板的指定位置；在所述邊緣板和所述頂板的指定位置測量高度值；以及將所述測量的高度值與設定的基準值進行比較。
14、在比較所述高度值的步驟中，若所述測量的高度值超過所述基準值，則會產生所述臺面平整度誤差并通知誤差的產生，若所述測量的高度值未超過所述基準值，則進行所述絲網印刷工序。
15、校正在進行所述絲網印刷工序時的平整度的步驟可以包括如下步驟：通過測量所述臺面的所述邊緣夾具和所述基板的高度值來檢查所述基板的翹曲；以及通過測量所述掩模的設定位置的高度值來檢查所述掩模的平整度。
16、檢查所述基板的翹曲的步驟可以包括如下步驟：將所述激光傳感器移動到所述臺面的邊緣夾具的指定位置；通過所述激光傳感器測量所述邊緣夾具的上表面的距離值；將所述激光傳感器移動到所述基板的指定位置；通過所述激光傳感器測量所述基板的上表面的距離值；以及判斷所述邊緣夾具的上表面的距離值與所述基板的上表面的距離值的差值是否超過設定的基準值。
17、在判斷所述距離值的差值的步驟中，若所述差值超過所述基準值，則會產生誤差并中斷生產，若所述差值未超過所述基準值，則進行所述絲網印刷工序。
18、檢查所述掩模的平整度的步驟可以包括如下步驟：將所述激光傳感器移動到所述掩模的指定位置；通過所述激光傳感器測量與所述掩模的指定位置的距離值；將所述激光傳感器移動到所述掩模的其他指定位置；通過所述激光傳感器測量與所述掩模的指定位置的距離值；以及將所述測量的值的差值與設定的基準值進行比較。
19、在比較所述測量值的步驟中，若所述差值超過所述基準值，則會產生誤差并中斷生產，若所述差值未超過所述基準值，則進行所述絲網印刷工序。
20、其他實施例的具體事項包含在詳細說明及附圖中。
21、發明效果
22、根據如上所述的本發明的實施例的絲網印刷機的平整度檢查方法，其優點在于，在絲網印刷機的絲網印刷工序之前或在進行絲網印刷工序時，通過檢測基板、支撐塊、臺面、基板的翹曲以及掩模的平整度，從而可以提高掩模與基板的貼合度，并使基板上的焊膏圖案恒定，由此也可以預先防止因焊膏圖案不良而引起的多種問題。
23、本發明的效果并不局限于以上所提及的效果，本發明所屬技術領域的普通技術人員可以通過要求保護范圍的記載明確理解未提及的其他效果。
1.一種絲網印刷機的平整度檢查方法，包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
3.根據權利要求2所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
4.根據權利要求1所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
5.根據權利要求4所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
6.根據權利要求5所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
7.根據權利要求4所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
8.根據權利要求7所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
9.根據權利要求4所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
10.根據權利要求9所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
11.根據權利要求1所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
12.根據權利要求11所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
13.根據權利要求12所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
14.根據權利要求11所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，
15.根據權利要求14所述的絲網印刷機的平整度檢查方法，其中，