本發(fā)明涉及cu-ag合金線及其制造方法。
背景技術(shù)：
1、在測(cè)試半導(dǎo)體集成電路等測(cè)試對(duì)象物的電特性時(shí)，通常使用排列有多個(gè)探針(probe?pin)的探針卡(probe?card)，使探針的前端部與測(cè)試對(duì)象物的測(cè)試對(duì)象部位接觸，進(jìn)行電特性的測(cè)試。
2、探針數(shù)千次、數(shù)萬次反復(fù)與測(cè)試對(duì)象部位接觸而被使用。因此，對(duì)該探針要求充分的“硬度”。此外，為了避免相鄰的探針彼此接觸，對(duì)探針還要求較高的直線性。此類探針多為cu合金線，例如，專利文獻(xiàn)1中公開了可用于探針的cu合金線。
3、通常，對(duì)合金線材進(jìn)行直線矯正加工來制造用于探針的cu合金線，以提高其剛直性和直線性等。之后，將該cu合金線加工成針狀。但是，若直接使用加工成針狀后的cu合金線，可能會(huì)出現(xiàn)針變色，表面生成氧化膜，該氧化膜剝離并污染半導(dǎo)體的情況。因此，通常對(duì)加工成針狀后的cu合金線進(jìn)一步進(jìn)行ni鍍覆和au鍍覆，然后將其作為探針使用。
4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)
6、專利文獻(xiàn)1：日本特開2019-26921號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、發(fā)明要解決的問題
2、然而，若在將cu合金線加工成針狀之后進(jìn)行鍍覆處理，則需批次式地進(jìn)行該處理。因此，成本容易攀升，難以高效地進(jìn)行處理。此外，難以控制形成于cu合金線表面的鍍層的厚度，品質(zhì)也容易變得不穩(wěn)定。另外，批次式地進(jìn)行鍍覆處理時(shí)，鍍層厚度容易偏厚。因此，認(rèn)為在將cu合金線加工成針狀之前，尤其是在對(duì)合金線材進(jìn)行直線矯正加工之前進(jìn)行鍍覆處理更為高效，能夠穩(wěn)定形成薄的鍍層。
3、關(guān)于該方法，本申請(qǐng)的發(fā)明人經(jīng)過深入研究發(fā)現(xiàn)，若對(duì)鍍覆處理后的合金線材進(jìn)行直線矯正加工，則該加工過程中容易發(fā)生斷線。其原因雖不明確，但可作如下考慮。
4、可以認(rèn)為：在鍍覆加工后會(huì)進(jìn)行拉絲加工直至達(dá)到規(guī)定尺寸，但當(dāng)鍍層在線材的總截面面積中所占的面積比例較大時(shí)，拉絲加工過程中鍍層可能出現(xiàn)裂紋。此外，拉絲加工時(shí)會(huì)邊涂覆潤(rùn)滑液邊進(jìn)行加工，若潤(rùn)滑液滲入并殘留于裂紋中，則會(huì)導(dǎo)致基材的銅合金腐蝕。在下一工序的直線矯正工序中，會(huì)在與線材的長(zhǎng)度方向正交的方向上施加強(qiáng)烈的扭轉(zhuǎn)，距線材中心越遠(yuǎn)該扭轉(zhuǎn)引起的變化量越大，施加于鍍層的應(yīng)力非常大。因此，若上述鍍層的面積比例較大且在拉絲加工時(shí)已產(chǎn)生裂紋的線材承受此類應(yīng)力，則會(huì)以腐蝕部位為起點(diǎn)發(fā)生斷線。
5、因此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種能夠不發(fā)生斷線而進(jìn)行制造，且具備硬度、電阻率和直線性的cu-ag合金線及其制造方法。
6、解決問題的方案
7、為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供一種cu-ag合金線，其具有：
8、合金線材，含有0.1～30質(zhì)量%的ag且其余部分由cu和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成；以及
9、第一鍍層，覆蓋所述合金線材且包含ni、pd、ag中的至少一者，
10、所述合金線材的維氏硬度為300hv以上，電阻率為3.0μω·cm以下，且曲率半徑為300mm以上，
11、在所述cu-ag合金線的與長(zhǎng)度方向垂直的截面中，所述第一鍍層的面積相對(duì)于所述截面的總面積的比例小于1.1%。
12、根據(jù)本發(fā)明的其他方式，提供一種cu-ag合金線的制造方法，其包括以下工序：
13、準(zhǔn)備含有0.1～30質(zhì)量%的ag且其余部分由cu和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成的合金線材的工序；
14、在所述合金線材的表面鍍覆ni、pd、ag中的至少一者的工序；以及
15、對(duì)所述鍍覆后的所述合金線材進(jìn)行直線矯正的工序。
16、發(fā)明效果
17、根據(jù)本發(fā)明，提供了一種能夠不發(fā)生斷線而進(jìn)行制造，且具備硬度、電阻率和直線性的cu-ag合金線及其制造方法。
1.?一種cu-ag合金線，其特征在于，具有：
2.如權(quán)利要求1所述的cu-ag合金線，其中，
3.如權(quán)利要求2所述的cu-ag合金線，其中，
4.一種cu-ag合金線的制造方法，其特征在于，包括以下工序：
5.如權(quán)利要求4所述的cu-ag合金線的制造方法，其中，