機加光電工藝的制作方法

專利名稱:機加光電工藝的制作方法
1、機加光電工藝屬電真空工藝。
2、光刻、玻璃模版濺靶電鍍或拷貝電鍍工藝對此工藝進行理解，檢索，審查有參考作用。如1951年的2805986號專利和以后的2529086號專利。
3、本工藝的目的用精密機械加工，光電，化學等工藝和一般的物質條件代替必須有高精密照像制版機和高精密長線條玻璃刻線機以及其整一套高物質條件的光刻和玻璃模版濺靶電鍍或拷貝電鍍工藝制取電子束管一系列各種不同面積、線數、透明度和金屬的方孔靶網。
4、發明的內容1)原理用精密機械加工兩支螺桿，平行裝成方框架，將絲繞進道道螺紋制成直線絲架，拷貝制出方孔底版代光刻工藝的照像制底版和玻璃模版濺靶電鍍工藝的刻制玻璃模版;用拷貝電鍍工藝制網代光刻工藝的曬象腐蝕制網和玻璃模版濺靶電鍍制網。并用螺紋的道數和兩次曝光時用平行移位模調整距離使線數倍增來控制線數;用螺桿的長度來控制面積，用絲料的直徑控制線條的粗細和網的透明度。用電鍍不同的金屬控制金屬。則可制出各種不同線數、透明度、面積和金屬的方孔靶網。
2)工藝(1)精密機械加工兩支一級精度，100線/cm，140cm長的不銹鋼螺桿，使其平行裝成正方形框架。螺紋的深度使絲繞好后約有三分之一在螺紋外。如示意圖。
(2)選擇眼力好、細心，耐心和有事業心的人，在適當強而柔和的燈光下，固定穩絲料，試驗訓練將12μ金屬絲繞進道道螺紋，制成直線絲架。
(3)在細微粒羅甸干片上用直線絲架拷貝，將100W的燈泡裝上長圓形筒，距離約2～3米，曝光約5分鐘，制成直線底版。
(4)用直線底版和同樣干片，兩次正交曝光，拷貝制成方孔底版。
(5)同樣干片和直線底版，在兩次曝光時用平行移位模調整線間距離，使線數成倍增加，以提高線數。
(6)羅甸干片的制取①選用特選平玻璃，切成所需大小的正方形。
②洗凈后在帶水的情況下，用1%的蛋白液上一層極薄的蛋白，涼干。
③在蛋白片上涂上一層碘化棉膠液。其配方是在1.5%的白羅甸100毫升中加6～8毫升的由碘化鎘18.76克;碘化銨8.54克;溴化銨3.2克;蒸餾水33毫升;酒精200毫升配成的紅碘液。
④待膠液半干時，浸入10%的硝酸銀液中，待光敏層(鹵素銀鹽)均勻后取出。
⑤在自來水中沖100～120分鐘。
⑥用蒸餾水洗后，再于蒸餾水中浸3分鐘。
⑦在用丹檸酸100克;檸檬酸5克;蒸餾水1000毫升配成的增感液浸3分鐘。取出在空氣中涼干，即成羅甸干片。
(7)拷貝電鍍①如(3)用羅甸干片及方孔底版曝光。
②用1分1%的硝酸銀液加3分由檸檬酸0.5克;對苯二酚10克;蒸餾水100毫升配成的溶液的顯影液顯影。
③在一般的硫代硫酸鈉液中定影。
④如需要加厚、用顯影液加厚。
⑤需要減薄，用3分25%的硫代硫酸液加1分25%的鐵氰化鉀液，再加4分蒸餾水的減薄液。
⑥將拷貝出的方孔網線版，檢查線條合格，導電性能好后，裝好導電性能好的掛具，在一般和脈沖或反向電鍍槽內進行電鍍，得網。
5、發明與已有工藝相比的優點及積極效果1)本工藝比光刻和玻璃模濺靶電鍍或拷貝電鍍工藝都簡短。只要加工成一個直線絲架就能拷貝出大生產所需的大量底版;除加工絲架外，全部工藝只有拷貝和拷貝電鍍;只要有合格底版，15～30分鐘就能拷貝電鍍出一片網。這比光刻有了合格底版曬象腐蝕網和有玻璃模版后濺靶電鍍網都能縮短1～多倍時間。
2)本工藝制直線絲架不需要如光刻和玻璃模版濺靶電鍍所需的大面積恒溫濕，高真空衛生的工作間，也不需要專門的高精密機器，和其整一套附屬設備及其所需的昂貴優質的金屬箔或光學玻璃，金剛石刀具及其磨料等。只要委托精密機械加工部門加工一個框架。用手工繞上絲，在一般的暗房和電鍍間，搞好真空衛生，用一般的化工和金屬材料就能出與已有工藝相同的產品-網。這不但適合大生產，尤其適合物質條件差的單位生產。
3)光刻工藝由于照像制底的放大圖或模型不易精密，照像時又易失真和招灰，腐蝕工藝又不易控制質量，成品率最低。玻璃模版刻制工藝長，成品率約為45%左右。一塊玻璃模版濺靶電鍍100次左右就得報廢，而且所出的網也有一定的報廢。本工藝制的原大直線絲架比放大圖和模型都精密，拷貝又不易失真和招灰，故制出的底版質量高。同理拷貝電鍍網的質量也高。
4)有1)、2)、3)項的優點，成品率高，所需工時少，各種費用少。產品的成本比已有工藝的能成倍或多倍地降低。當然經濟效益能成倍或多倍地提高。
權利要求
1.機加光電工藝屬電真空技術。用來研制一系列電子束管所需的方孔靶網。光刻工藝制此類網是用照像法制底版，用曬象腐蝕法制網。玻璃模版濺鈀電鍍工藝制此類網是刻制方孔玻璃模版(模基)，在玻璃模版上濺鈀電鍍網。本發明的特征是用精密機械加工一個用兩支一級精度的螺桿平行裝成正方形框架；用手工將絲料繞進道道螺紋制成直線絲架；在細微粒干片上拷貝制成方孔底版；再拷貝電鍍制網。
2.在權利要求
1所述的工藝中，用精密機床加工兩支一級精度有一定道數螺紋和長度的不銹鋼螺桿，平行裝成正方形框架。
3.在權利要求
2所述工藝中，螺紋的道數根據網的線數來定;螺桿的長度根據網的面積來定;螺紋的深度使繞進的絲料有三分之一在螺紋外。
4.在權利要求
1所述工藝中，選擇眼力好、細心、耐心、有事業心的人，在一定強而柔和的燈光下，固定穩絲料，用手工試驗訓練將絲繞進道道螺紋，制成直線絲架。如。
5.在權利要求
4所述工藝中，也可在放大鏡或顯微鏡下用手工繞絲。
6.在權利要求
1所述工藝中，根據網線條的粗細和線數，用直線絲架在細微粒羅甸干片或超細微粒干片上拷貝，制成直線底版。制100～250線/CM的底片用細微粒羅干片。制250～500/CM的底片用超細微粒干片。
7.在權利要求
1所述工藝中，用直線陰圖底版在干片上兩次正交曝光拷貝制成方孔底版。
8.在權利要求
1所述工藝中，用螺紋的道數和在兩次曝光時用平行移位模調正線間的距離，使線數倍增來控制和提高底版的線數。
9.在權利要求
1所述工藝中，細微粒羅甸干片的制取，基本工藝與濕片同，只有下述幾點不同(1)紅碘配方碘化鎘18.67克;碘化銨8.54克;溴化銨3.2克;蒸餾水33毫升;酒精1000毫升。(2)碘化棉膠的配方在100毫升1.5%的白羅甸中加6～8毫升紅碘。(3)制成濕片后需在丹檸酸100克，檸檬配5克，蒸餾水1000毫升的增感液中浸3分鐘，在空氣中涼干。
10.在權利要求
1所述工藝中，拷貝電鍍制網(1)拷貝與一般拷貝同，只以下溶液不同①顯影和加厚溶3份由檸檬酸0.5克，對苯二酚10克和蒸餾水100毫升配成的溶液加1份1%的硝酸銀液;②減薄溶3份25%硫代硫酸鈉液，加1份25%鐵氰化鉀液，再加4份蒸餾水。(2)電鍍拷貝出線條合格，導電性能好的網版，裝好導電性能好的掛具，進行電鍍。可用一般電鍍，脈沖電鍍和反向電鍍。
11.在權利要求
10所述工藝中，根據網要求的金屬，用同種金屬的電鍍液電鍍。即銅質網用銅的電鍍液，鎳質網用鎳的電鍍液，……。
專利摘要
機加光電工藝屬電真空工藝。需要解決直線絲架，拷貝制方孔底版和拷貝電鍍制網的技術。工藝簡短，是電子束管一系列方孔靶網的高質、快速、高效、低物質需要的大生產工藝。能制各種分子篩和各種儀器等的方孔網。有底版后可制各種形狀復雜不規則的精密件，用脈沖和反向電鍍能增加產品的強度和厚度。使感光膠抗FH，可制光柵和網目。
文檔編號C25D1/00GK87103656SQ87103656
公開日1988年5月18日 申請日期1987年5月22日
發明者袁秉良 申請人:袁秉良