1.本實用新型涉及真空腔體技術領域，更具體的，涉及一種多腔結構真空腔體。
背景技術：
2.真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的一種結構，其晶圓容量幾乎不變，這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點有改善的機臺定位的靜態、動態響應，抽氣時間、穩定時間縮短等等，而多腔結構的真空腔體對抽氣時間、動態響應等優點更為明顯。
3.現有的多腔結構真空腔體，結構單一，一般每個腔體都配備有單個的連接法蘭用于灌輸或者放空氣體，但是由于腔體密閉，腔體內部的溫度排放效果不佳，且連接法蘭一般都是通過焊接的方式與箱體連接達到密封，費時費力，且對后期箱體內部真空腔體的檢修也極為不便。
技術實現要素：
4.本實用新型旨在解決，現有的多腔結構真空腔體，結構單一，一般每個腔體都配備有單個的連接法蘭用于灌輸或者放空氣體，但是由于腔體密閉，腔體內部的溫度排放效果不佳，且連接法蘭一般都是通過焊接的方式與箱體連接達到密封，費時費力，且對后期箱體內部真空腔體的檢修也極為不便的問題。
5.為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種多腔結構真空腔體，包括箱體，所述箱體的頂端設有蓋板，所述蓋板的頂端安裝有拉手，所述箱體的外壁前后左右均設有連接法蘭，所述連接法蘭的外壁安裝有金屬墊片，所述箱體的內部設有真空內腔本體，所述真空內腔本體的外壁一側安裝有通氣管。
6.進一步優選方案：所述箱體的頂端設有卡槽，所述蓋板的底端設有凸起塊，且凸起塊嵌入于卡槽的內部。
7.進一步優選方案：所述連接法蘭的外壁設有密封環，且密封環的外壁與金屬墊片貼合，所述連接法蘭的外壁一側設有螺紋圈，且螺紋圈嵌入與箱體的內壁。
8.進一步優選方案：所述箱體的內部共設置有四個真空內腔本體，且箱體的內部中間留有空余。
9.進一步優選方案：所述通氣管的內部設有固定板，且固定板的中間開設有孔洞。
10.進一步優選方案：所述固定板的外壁一側設有彈簧，所述通氣管的開口處設有密封圈，且密封圈與彈簧相互連接。
11.進一步優選方案：所述通氣管的內部開口處設有墊片，且墊片與密封圈的外壁貼合。
12.本實用新型提供了一種多腔結構真空腔體，具有以下有益效果：
13.1、本實用新型通過設置螺紋圈和密封圈，箱體的內壁設有螺紋槽，當連接法蘭轉動時螺紋圈與螺紋槽卡接，同時密封環的外壁與箱體的外壁貼合，密閉箱體與連接法蘭貼
合處的縫隙，使其密閉，增加真空內腔本體的密閉性，同時提高了連接法蘭安裝和拆卸時的便利性，便于真空內腔本體內部的檢修。
14.2、本實用新型優點在于通過設置通氣管和密封圈，連接法蘭的出氣口連接真空內腔本體，另一側連接氣泵，當開啟通過導線電性連接的氣泵時，吸力沿著連接法蘭進入真空內腔本體的內部，將真空內腔本體內部的空氣抽空，使其達到真空狀，當氣泵停止運轉時，真空內腔本體4內部的溫度和氣壓達到一定程度時，氣體經過經過管吹動密封圈，使密封圈與通氣管之間露出空隙，便于真空內腔本體內部溫度的排放。
15.3、最后通過設置蓋板和凸起塊，蓋板通過手向下按動，將凸起塊嵌入在卡槽的內部，當卡槽與凸起塊貼合時，蓋板將箱體的頂端開口密封，使箱體內部形成真空狀，同時蓋板的簡易開合，便于真空內腔本體內部的檢修。
附圖說明
16.圖1為本實用新型結構示意圖。
17.圖2為本實用新型裝置連接法蘭局部結構示意圖。
18.圖3為本實用新型裝置箱體剖面結構示意圖。
19.圖4為本實用新型裝置固定板局部結構示意圖。
20.圖1
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4中：1、箱體；101、卡槽；2、蓋板；201、拉手；202、凸起塊；3、連接法蘭；301、金屬墊片；302、密封環；303、螺紋圈；4、真空內腔本體；5、通氣管；501、固定板；502、孔洞；503、彈簧；504、密封圈。
具體實施方式
21.下面將結合本實用新型實施例中的附圖1
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4，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
22.實施例：
23.請參閱圖1至4：
24.本實施例提供進一步優選方案一種多腔結構真空腔體，包括箱體1，箱體1的頂端設有蓋板2，蓋板2的頂端安裝有拉手201，箱體1的外壁前后左右均設有連接法蘭3，連接法蘭3的外壁安裝有金屬墊片301，箱體1的內部設有真空內腔本體4，真空內腔本體4的外壁一側安裝有通氣管5。
25.進一步的，箱體1的頂端設有卡槽101，蓋板2的底端設有凸起塊202，且凸起塊202嵌入于卡槽101的內部，蓋板2通過手向下按動，將凸起塊202嵌入在卡槽101的內部，當卡槽101與凸起塊202貼合時，蓋板2將箱體1的頂端開口密封，使箱體1內部形成真空狀。
26.進一步的，連接法蘭3的外壁設有密封環302，且密封環302的外壁與金屬墊片301貼合，連接法蘭3的外壁一側設有螺紋圈303，且螺紋圈303嵌入與箱體1的內壁，箱體1的內壁設有螺紋槽，當連接法蘭3轉動時螺紋圈303與螺紋槽卡接，同時密封環302的外壁與箱體1的外壁貼合，密閉箱體1與連接法蘭3貼合處的縫隙，使其密閉。
27.進一步的，箱體1的內部共設置有四個真空內腔本體4，且箱體1的內部中間留有空
余，四個真空內腔體4位于箱體1內部的前后左右四個方位，四個真空內腔體4相互貼合，中間留有空間，便于真空內腔本體4內部氣體的排放。
28.進一步的，通氣管5的內部設有固定板501，且固定板501的中間開設有孔洞502，連接法蘭3的出氣口連接真空內腔本體4，另一側連接氣泵，當開啟通過導線電性連接的氣泵時，吸力沿著連接法蘭3進入真空內腔本體4的內部，將真空內腔本體4內部的空氣抽空，使其達到真空狀。
29.進一步的，固定板501的外壁一側設有彈簧503，通氣管5的開口處設有密封圈504，且密封圈504與彈簧503相互連接，吸力經過通氣管5吸住密封圈504，使密封圈504回縮進入通氣管5的內部，密封真空內腔本體4，同時當氣泵關閉時，彈簧503產生張力推動密封圈504，使密封圈504與通氣管5之間留出空隙，將真空內腔本體4內部的溫度排出。
30.進一步的，通氣管5的內部開口處設有墊片，且墊片與密封圈504的外壁貼合，當真空內腔本體4內部的溫度和氣壓達到一定程度時，氣體經過經過通氣管5吹動密封圈504，使密封圈504與通氣管5之間露出空隙，便于真空內腔本體4內部高溫的排放。
31.工作原理：一種多腔結構真空腔體，首先將密封環302套在連接法蘭3的外壁，然后轉動連接法蘭3，連接法蘭3轉動時螺紋圈303與箱體1內壁螺紋槽卡接向箱體1內部方向移動，同時連接法蘭3移動的過程中密封環302的外壁與箱體1的外壁貼合，密閉箱體1與連接法蘭3貼合處的縫隙，使其密閉，便于連接法蘭3的安裝，然后用手向下按動蓋板2，將蓋板2底端的凸起塊202嵌入在卡槽101的內部，當卡槽101與凸起塊202貼合時，蓋板2將箱體1的頂端開口密封，使箱體1內部形成真空狀，然后再將連接法蘭3分別連接氣泵，當開啟通過導線電性連接的氣泵時，吸力沿著連接法蘭3進入真空內腔本體4的內部，吸力經過通氣管5吸住密封圈504，使密封圈504回縮進入通氣管5的內部，密封真空內腔本體4，將真空內腔本體4內部的空氣抽空，使其達到真空狀，同時當氣泵關閉時，彈簧503產生張力推動密封圈504，使密封圈504與通氣管5之間留出空隙，將真空內腔本體4內部的高壓和溫度排出。
32.盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對應本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。