絲網掩模檢查裝置、焊料印刷檢查裝置以及絲網掩模的檢查方法與流程

1.本發明涉及在基板上印刷膏狀焊料時使用的絲網掩模的檢查裝置及其檢查方法、以及具備絲網掩模的檢查功能的焊料印刷檢查裝置。


背景技術：

2.在向基板上安裝電子部件的生產線中，首先利用焊料印刷機在配設于基板的焊盤上印刷膏狀焊料。接著，基于該膏狀焊料的粘性在基板上臨時固定電子部件。之后，將基板引導至回流爐，經過規定的回流工序，由此進行焊接。
3.另外，在利用焊料印刷機印刷膏狀焊料時，使用絲網掩模。絲網掩模由例如不銹鋼等金屬構成，形成有用于形成印刷圖案的絲網開口(孔)。膏狀焊料的印刷是通過如下方式進行的：一邊將絲網掩模按壓于基板，一邊在該絲網掩模的表面載置膏狀焊料，然后將規定的刮板按壓于該絲網掩模的表面并使其移動，使膏狀焊料進入到絲網開口。另外，為了防止松弛等，絲網掩模在通過規定的框架等以施加了張力的狀態被保持。
4.另外，提出了如下技術：在使用絲網掩模對膏狀焊料進行印刷時，基于與所印刷的膏狀焊料的印刷偏移率相關的修正值，對絲網掩模相對于基板的相位置匹配置進行調節，從而對膏狀焊料的印刷位置進行修正(例如，參照專利文獻1等)。
5.現有技術文獻
6.專利文獻
7.專利文獻1：日本特開2009-92557號公報。


技術實現要素：

8.發明所要解決的問題
9.然而，在印刷膏狀焊料時，由于施加的張力、對基板的按壓力、從刮板施加的力等的影響，可能會在絲網掩模上產生變形(伸長)、位置偏移。另外，該變形不僅包括永久性的變形，還包括臨時性的變形。在此，若印刷時的絲網掩模的變形量或位置偏移量超過允許范圍，則即使如上述那樣調節絲網掩模相對于基板的相位置匹配置，也難以或不能將膏狀焊料印刷于適當位置，從而可能導致成品率的下降或無法制造合格品這樣的事態。
10.例如，如圖13所示，在印刷膏狀焊料時，在具有與印刷基板1(相當于“基板”)上的焊盤r1、r2(參照圖14)對應的絲網開口s1、s2的絲網掩模sm中，假設絲網開口s1、s2間的變形量(伸長量)s與焊盤r1、r2的寬度w為相同程度。在該情況下，即使適當地調節絲網掩模sm相對于印刷基板1的相位置匹配置，如圖14所示，膏狀焊料3相對于焊盤r1、r2的位置偏移量t也成為“w/2”，難以將膏狀焊料3印刷于適當位置。另外，例如，如圖15、圖16所示，在變形量s為寬度w的2倍左右的情況下，即使適當地調節絲網掩模sm相對于印刷基板1的相位置匹配置，位置偏移量t也成為“w”，無法在焊盤r1、r2上印刷膏狀焊料3。另外，焊盤的寬度w小，為0.1mm以下，因此即使絲網掩模的變形等很少，也可能產生上述那樣的不合格情況。
11.本發明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于，提供一種能夠更準確地檢查絲網掩模是否處于能夠適當地印刷膏狀焊料的狀態的絲網掩模的檢查裝置等。
12.用于解決問題的手段
13.以下，對適于解決上述目的的各手段分項進行說明。另外，根據需要，對相應的技術方案附加特有的作用效果。
14.技術方案1.一種絲網掩模檢查裝置，對絲網掩模進行檢查，所述絲網掩模具有形成印刷圖案的絲網開口，并用于經由該絲網開口而在基板上印刷膏狀焊料，所述絲網掩模檢查裝置的特征在于，包括：
15.焊料位置信息檢測單元，檢測印刷在基板上的膏狀焊料的位置信息；以及
16.使用時對應判定單元，基于由所述焊料位置信息檢測單元檢測出的位置信息來進行與印刷時的所述絲網掩模相關的是否合格判定實際印刷的膏狀焊料。
17.根據上述技術方案1，檢測出被印刷的膏狀焊料的位置信息，基于該檢測出的位置信息，進行與印刷時的絲網掩模相關的是否合格判定。通過這樣利用印刷的膏狀焊料的位置信息，能夠不僅考慮絲網掩模自身，還考慮對基板的按壓力、從刮板施加的力等、在印刷時對絲網掩模造成影響的外部因素，來判定與印刷時的絲網掩模相關的是否合格。因此，能夠更準確地檢查絲網掩模是否處于能夠適當地印刷膏狀焊料的狀態。
18.另外，作為膏狀焊料的位置信息，優選使用具有沿著刮板(為了擴展膏狀焊料而使用的部件)的移動方向的分量的信息。在該情況下，能夠得到強烈地反映了移動的刮板的影響的、絲網掩模的變形或位置偏移的程度更容易明確顯現的位置信息。因此，能夠高精度地檢查絲網掩模是否處于能夠適當地印刷膏狀焊料的狀態。
19.技術方案2.根據技術方案1所述的絲網掩模檢查裝置，其特征在于，
20.所述焊料位置信息檢測單元檢測基于位置偏移量的信息作為所述位置信息，所述位置偏移量是實際印刷的膏狀焊料相對于規定的基準位置的位置偏移量。
21.另外，作為“基準位置”，可以舉出設置在基板上的焊盤(膏狀焊料的印刷對象)的位置、理想的(設計上的)膏狀焊料的印刷位置、基板中的所選擇的任意位置等(在技術方案9中也是同樣的)。
22.根據上述技術方案2，檢測基于膏狀焊料的位置偏移量的信息作為位置信息。因此，能夠容易地得到進行是否合格判定所需的位置信息，能夠降低與檢查處理相關的負擔。
23.另外，在絲網掩模檢查裝置設置于具備基于膏狀焊料的位置偏移量來判定該膏狀焊料的是否合格的功能的焊料印刷檢查裝置的情況下，能夠利用由該功能檢測出的位置偏移量來進行絲網掩模的檢查。因此，能夠提高與絲網掩模、膏狀焊料的檢查有關的處理的效率。
24.技術方案3.根據技術方案2所述的絲網掩模檢查裝置，其特征在于，所述焊料位置信息檢測單元檢測以下的信息作為所述位置信息，所述信息是基于與位于基板上的沿著刮板的移動方向的一端的膏狀焊料相關的沿著所述移動方向的所述位置偏移量、和與位于基板上的沿著所述移動方向的另一端的膏狀焊料相關的沿著所述移動方向的所述位置偏移量的信息。
25.即，技術方案3可以說是：
[0026]“1.一種絲網掩模檢查裝置，對絲網掩模進行檢查，所述絲網掩模具有形成印刷圖
案的絲網開口，并用于經由該絲網開口而在基板上印刷膏狀焊料，所述絲網掩模檢查裝置的特征在于，包括：
[0027]
焊料位置信息檢測單元，檢測印刷在基板上的膏狀焊料的位置信息；以及
[0028]
使用時對應判定單元，基于由所述焊料位置信息檢測單元檢測出的位置信息來進行與印刷時的所述絲網掩模相關的是否合格判定，
[0029]
所述焊料位置信息檢測單元檢測以下的信息作為所述位置信息，所述信息是基于位于基板上的沿著刮板的移動方向的一端的膏狀焊料的相對于規定的基準位置的沿著所述移動方向的位置偏移量、和位于基板上的沿著所述移動方向的另一端的膏狀焊料的相對于規定的基準位置的沿著所述移動方向的位置偏移量的信息”。
[0030]
膏狀焊料相對于基板上的印刷是通過一邊將規定的刮板按壓到絲網掩模的表面一邊使其沿著該表面移動來進行的，結果根據上述技術方案3，檢測基于沿著刮板的移動方向的膏狀焊料的位置偏移量的信息作為膏狀焊料的位置信息。因此，能夠基于強烈地反映了移動的刮板的影響的、絲網掩模的變形或位置偏移的程度更容易明確地顯現的信息，來進行與絲網掩模相關的是否合格判定。由此，能夠更高精度地檢查絲網掩模是否處于能夠適當地印刷膏狀焊料的狀態。
[0031]
另外，根據上述技術方案3，使用基于與位于沿著刮板的移動方向的一端的膏狀焊料相關的位置偏移量和與位于沿著該移動方向的另一端的膏狀焊料相關的位置偏移量的信息(例如，兩位置偏移量的差等)作為膏狀焊料的位置信息。即，作為膏狀焊料的位置信息，使用基于位于沿著刮板的移動方向上分離的位置上的2個膏狀焊料的各位置偏移量的信息。因此，膏狀焊料的位置信息成為更容易掌握絲網掩模的變形、位置偏移的程度的信息，能夠進一步提高檢查精度。
[0032]
技術方案4.根據技術方案1所述的絲網掩模檢查裝置，其特征在于，所述焊料位置信息檢測單元檢測表示基板上的多個膏狀焊料之間的距離的信息作為所述位置信息。
[0033]
根據上述技術方案4，檢測表示多個膏狀焊料之間的距離的信息作為膏狀焊料的位置信息。因此，能夠容易地得到進行是否合格判定所需的位置信息，能夠降低檢查處理所涉及的負擔。
[0034]
另外，也可以構成為：作為膏狀焊料的位置信息，檢測表示位于基板上的沿著刮板的移動方向的一端的膏狀焊料與位于基板上的沿著所述移動方向的另一端的膏狀焊料之間的距離的信息。在該情況下，與上述技術方案3同樣地，膏狀焊料的位置信息成為強烈地反映了刮板的影響的信息，因此能夠實現檢查精度的提高。
[0035]
技術方案5.根據技術方案1至4中的任一項所述的絲網掩模檢查裝置，其特征在于，包括：
[0036]
開口位置信息檢測單元，檢測未印刷膏狀焊料時的所述絲網開口的位置信息；以及
[0037]
各自是否合格判定單元，能夠基于由所述焊料位置信息檢測單元檢測出的膏狀焊料的位置信息和由所述開口位置信息檢測單元檢測出的所述絲網開口的位置信息來判定所述絲網掩模自身的是否合格和印刷時對所述絲網掩模造成影響的外部因素的是否合格。
[0038]
另外，所謂“絲網開口的位置信息”，可以舉出與相對于規定的掩?；鶞饰恢谩怖?，理想的(設計上的)絲網開口的位置〕的實際的絲網開口的相對位置相關的信息(例如，
位置偏移量)、表示多個絲網開口之間的距離的信息等。另外，作為“絲網開口的位置信息”，也可以使用間接表示絲網開口的位置的信息(例如，與附加于絲網掩模上的規定的標記的位置相關的信息等)(在技術方案12中也是同樣的)。
[0039]
根據上述技術方案5，能夠基于膏狀焊料的位置信息和絲網開口的位置信息來判定絲網掩模自身的是否合格、以及在印刷時對絲網掩模造成影響的外部因素的是否合格。例如，在膏狀焊料的位置信息和絲網開口的位置信息的雙方不滿足規定的合格條件的情況下，能夠判定絲網掩模自身為不合格。另一方面，在膏狀焊料的位置信息不滿足合格條件、而絲網開口的位置信息滿足合格條件的情況下，能夠判定絲網掩模自身為合格品，在印刷時對絲網掩模造成影響的外部因素〔例如，對基板的按壓力或從刮板施加的力(刮板壓力)等〕存在問題。因此，能夠更準確地掌握絲網掩模不是能夠適當地印刷膏狀焊料的狀態的原因。其結果，能夠從作為對印刷不良的應對處理而考慮的多個方法(例如，絲網掩模的更換、印刷條件的改變等)中更容易地選擇、決定適當的方法，能夠更迅速地進行應對處理。
[0040]
技術方案6.根據技術方案5所述的絲網掩模檢查裝置，其特征在于，包括信息發送單元，所述信息發送單元能夠基于所述各自是否合格判定單元的判定結果，發送催促更換所述絲網掩模的信息或者催促改變對所述絲網掩模造成影響的印刷條件的信息。
[0041]
根據上述技術方案6，基于各自是否合格判定單元的判定結果來發送(示教)催促更換絲網掩模的信息、或者促使改變對絲網掩模造成影響的印刷條件(例如刮板壓力、對基板的按壓力等)的信息。由此，在判定印刷時的絲網掩模為不合格時，作業者能夠早期且準確地掌握應執行的應對處理。其結果是，能夠更迅速地進行應對處理，能夠提高生產效率。
[0042]
技術方案7.一種焊料印刷檢查裝置，具有：技術方案1至6中任一方案所述的絲網掩模檢查裝置；以及焊料檢查單元，對印刷在基板上的膏狀焊料進行檢查。
[0043]
根據上述技術方案7，起到與上述技術方案1等相同的作用效果。
[0044]
技術方案8.一種絲網掩模的檢查方法，用于絲網掩模的檢查，該絲網掩模具有形成印刷圖案的絲網開口，并用于經由該絲網開口而在基板上印刷膏狀焊料，所述檢查方法的特征在于，
[0045]
檢測印刷在基板上的膏狀焊料的位置信息，并且基于該檢測結果進行與印刷時的所述絲網掩模相關的是否合格判定。
[0046]
根據上述技術方案8，起到與上述技術方案1相同的作用效果。
[0047]
技術方案9.根據技術方案8所述的絲網掩模的檢查方法，其特征在于，檢測基于位置偏移量的信息作為所述位置信息，所述位置偏移量是實際印刷的膏狀焊料相對于規定的基準位置的位置偏移量。
[0048]
根據上述技術方案9，起到與上述技術方案2相同的作用效果。
[0049]
技術方案10.根據技術方案9所述的絲網掩模的檢查方法，其特征在于，檢測以下的信息作為所述位置信息，所述信息是基于與位于基板上的沿著刮板的移動方向的一端的膏狀焊料相關的沿著所述移動方向的所述位置偏移量、和與位于基板上的沿著所述移動方向的另一端的膏狀焊料相關的沿著所述移動方向的所述位置偏移量的信息。
[0050]
即，技術方案10可以說是：
[0051]“1.一種絲網掩模的檢查方法，用于絲網掩模的檢查，所述絲網掩模具有形成印刷圖案的絲網開口，并用于經由該絲網開口而在基板上印刷膏狀焊料，所述檢查方法的特征
在于，
[0052]
檢測印刷在基板上的膏狀焊料的位置信息，并且基于該檢測結果來進行與印刷時的所述絲網掩模相關的是否合格判定，
[0053]
檢測以下的信息作為所述位置信息，所述信息是基于位于基板上的沿著刮板的移動方向的一端的膏狀焊料的相對于規定的基準位置的沿著所述移動方向的位置偏移量、和位于基板上的沿著所述移動方向的另一端的膏狀焊料的相對于規定的基準位置的沿著所述移動方向的位置偏移量的信息”。
[0054]
根據上述技術方案10，起到與上述技術方案3相同的作用效果。
[0055]
技術方案11.根據技術方案8所述的絲網掩模的檢查方法，其特征在于，檢測表示基板上的多個膏狀焊料之間的距離的信息作為所述位置信息。
[0056]
根據上述技術方案11，起到與上述技術方案4相同的作用效果。
[0057]
技術方案12.根據技術方案8至11中任一方案所述的絲網掩模的檢查方法，其特征在于，檢測未印刷膏狀焊料時的所述絲網開口的位置信息；以及能夠基于膏狀焊料的位置信息和所述絲網開口的位置信息來判定所述絲網掩模自身的是否合格和印刷時對所述絲網掩模造成影響的外部因素的是否合格。
[0058]
根據上述技術方案12，起到與上述技術方案5相同的作用效果。
附圖說明
[0059]
圖1是印刷基板的俯視示意圖。
[0060]
圖2是表示生產線的簡要構成的框圖。
[0061]
圖3是表示焊料印刷機的簡要構成的立體示意圖。
[0062]
圖4是表示焊料印刷機的簡要構成的側面示意圖。
[0063]
圖5是用于說明焊料印刷機的印刷動作的示意圖。
[0064]
圖6是表示焊料印刷檢查裝置等的電氣結構的框圖。
[0065]
圖7是表示焊料印刷檢查裝置的簡要構成的立體示意圖。
[0066]
圖8是用于說明膏狀焊料的位置信息的印刷基板的俯視示意圖。
[0067]
圖9是用于說明絲網開口的位置信息的絲網掩模的俯視示意圖。
[0068]
圖10是表示絲網掩模的檢查方法的流程圖。
[0069]
圖11是在另一實施方式中用于說明膏狀焊料的位置信息的印刷基板的俯視示意圖。
[0070]
圖12是在另一實施方式中用于說明絲網開口的位置信息的絲網掩模的俯視示意圖。
[0071]
圖13是用于說明現有技術的絲網掩模的俯視示意圖。
[0072]
圖14是用于說明現有技術的印刷基板的俯視示意圖。
[0073]
圖15是用于說明現有技術的絲網掩模的俯視示意圖。
[0074]
圖16是用于說明現有技術的印刷基板的俯視示意圖。
具體實施方式
[0075]
以下，參照附圖，對一個實施方式進行說明。首先，參照圖1對印刷基板1的結構進
行說明。在本實施方式中，印刷基板1相當于“基板”。
[0076]
如圖1所示，印刷基板1在由玻璃環氧樹脂等構成的平板狀的基底基板7上形成有由銅箔構成的布線圖案(省略圖示)、多個焊盤2。在基底基板7上的除了焊盤2以外的部分涂覆有抗蝕劑膜8(參照圖5)。在各焊盤2上印刷有具有粘性的膏狀焊料3(在圖1等中用散點圖案表示的部位)。并且，成為芯片等電子部件4與膏狀焊料3接合的狀態。另外，在圖1中，僅示意性地示出多個焊盤2等中的一小部分。
[0077]
接著，參照圖2，對用于制造印刷基板1的生產線進行說明。圖2是表示印刷基板1的生產線10的簡要構成的框圖。在生產線10上，從其上游側起依次設置有焊料印刷機20、焊料印刷檢查裝置40、部件安裝機70以及回流裝置80。首先，對部件安裝機70以及回流裝置80進行簡單說明，之后，對焊料印刷機20以及焊料印刷檢查裝置40進行詳細說明。
[0078]
部件安裝機70在由焊料印刷機20印刷的膏狀焊料3上搭載電子部件4(參照圖1)。電子部件4具備多個電極、引線(分別未圖示)，該電極、引線分別相對于規定的膏狀焊料3臨時固定。
[0079]
回流裝置80使膏狀焊料3加熱熔融，將焊盤2與電子部件4的電極、引線進行焊料接合(焊接)。
[0080]
接著，對焊料印刷機20進行說明。焊料印刷機20在印刷基板1的焊盤2上印刷規定量的膏狀焊料3。如圖3、4所示，焊料印刷機20具備印刷用移動機構22、印刷用軌道機構23、卡盤機構24、基板支承裝置25、絲網掩模26、刮板27、掩模用相機28、印刷用顯示裝置29(參照圖6)、印刷用輸入裝置30(參照圖6)以及印刷控制裝置31。
[0081]
印刷用移動機構22是用于在膏狀焊料3的印刷工序中使印刷基板1移動的機構，設置在規定的基臺21上。印刷用移動機構22具備x軸移動機構221、y軸移動機構222以及z軸移動機構223。通過x軸移動機構221及y軸移動機構222的動作，印刷用軌道機構23及z軸移動機構223沿著x軸方向及y軸方向滑動移動。通過z軸移動機構223的動作，印刷用軌道機構23沿著z軸方向(高度方向)移動。
[0082]
印刷用軌道機構23是載置印刷基板1的機構，印刷基板1成為膏狀焊料3的印刷對象。印刷用軌道機構23具備平行地配設的一對軌道。這些軌道的間隔被構成為能夠改變，通過改變該間隔，能夠對應寬度不同的各種印刷基板1。另外，印刷用軌道機構23通過印刷用移動機構22的動作而沿著x軸方向、y軸方向以及z軸方向移動。通過使印刷用軌道機構23移動，能夠使載置于該印刷用軌道機構23的印刷基板1向任意的方向(x軸方向、y軸方向以及z軸方向)移動。
[0083]
卡盤機構24是用于通過保持印刷基板1來抑制印刷基板1在印刷膏狀焊料3時的移動的機構。卡盤機構24具備能夠接觸/分離移動的一對把持部，通過利用這些把持部把持印刷基板1來保持載置于印刷用軌道機構23的印刷基板1。
[0084]
基板支承裝置25從下方支承印刷基板1，從而抑制印刷膏狀焊料3時的該印刷基板1的變形?；逯С醒b置25配置在印刷用軌道機構23的所述兩軌道之間，具備多個棒狀的支承銷25a。通過使這些支承銷25a的頂端部成為與印刷基板1的下表面接觸的狀態，從而支承印刷基板1。
[0085]
絲網掩模26用于在印刷基板1上形成膏狀焊料3的印刷圖案。絲網掩模26呈薄壁平板狀，例如由規定的金屬(不銹鋼等)形成。另外，絲網掩模26的構成材料也可以適當改變。
[0086]
絲網掩模26具備多個絲網開口261，絲網開口261在其厚度方向上是貫通的，且呈與印刷圖案對應的形狀。在印刷膏狀焊料3時，通過使膏狀焊料3進入到絲網開口261，從而經由該絲網開口261(通過)在印刷基板1上印刷膏狀焊料3。另外，在圖3等中，僅示意性地示出多個絲網開口261中的一部分。
[0087]
另外，絲網掩模26的外周部整周由矩形狀的框架262保持。絲網掩模26通過從該框架262施加張力而成為沒有松弛地張緊的狀態。
[0088]
刮板27是用于擴展載置在絲網掩模26上的膏狀焊料3的刮刀狀的部件。刮板27由規定的刮板保持部(未圖示)保持，該刮板保持部能夠通過規定的驅動單元(未圖示)在任意的方向(x軸方向、y軸方向及z軸方向)上移動。
[0089]
掩模用相機28例如由ccd相機等規定的拍攝裝置構成，用于拍攝絲網掩模26。在本實施方式中，掩模用相機28被構成為能夠拍攝絲網掩模26的整個區域。因此，通過掩模用相機28，能夠拍攝位于沿著刮板27的移動方向(在本實施方式中為y軸方向)的一端的絲網開口261(稱為“一端側絲網開口261a”)和位于沿著該移動方向的另一端的絲網開口261(稱為“另一端側絲網開口261b”)。
[0090]
另外，在絲網掩模26離開印刷基板1，未進行對該印刷基板1印刷膏狀焊料3的時刻進行掩模用相機28的拍攝。由此，對未受到印刷所涉及的影響的狀態的絲網掩模26進行拍攝。由掩模用相機28得到的拍攝數據被輸出到印刷控制裝置31和后述的檢查控制裝置50。另外，在本實施方式中，掩模用相機28配置在絲網掩模26的上方，但也可以配置在絲網掩模26的下方。
[0091]
另外，在本實施方式中，焊料印刷機20除了具備掩模用相機28以外，還具備用于拍攝印刷基板1的相機(未圖示)。
[0092]
印刷用顯示裝置29例如由液晶顯示器等構成，是用于顯示存儲在印刷控制裝置31中的各種信息的裝置。
[0093]
印刷用輸入裝置30例如由鍵盤等構成，是用于對印刷控制裝置31輸入信息的裝置。
[0094]
印刷控制裝置31控制焊料印刷機20的各部分(例如印刷用移動機構22、掩模用相機28等)的動作。印刷控制裝置31例如由所謂的計算機系統構成，該計算機系統具備作為運算單元的cpu、存儲各種程序的rom、暫時存儲運算數據、輸入輸出數據等各種數據的ram、用于長期存儲信息的存儲裝置(例如硬盤等)。
[0095]
在印刷控制裝置31中存儲有各種信息。各種信息包括與膏狀焊料3的印刷相關的各種參數。作為各種參數，例如能夠舉出刮板27的移動速度、移動方向、刮板27相對于絲網掩模26的傾斜角度、刮板27相對于絲網掩模26的接觸壓力(刮板壓力)、印刷基板1(印刷用軌道機構23)在印刷膏狀焊料3時沿著x軸方向和y軸方向的位置、絲網掩模26相對于印刷基板1的按壓力等。另外，通過調節z軸移動機構223的動作，能夠改變絲網掩模26相對于印刷基板1的按壓力。
[0096]
另外，如圖6所示，印刷控制裝置31具備刮板控制部311以及印刷用移動控制部312。
[0097]
刮板控制部311基于存儲于印刷控制裝置31的各種參數來控制用于使刮板27動作的所述驅動單元，由此控制刮板27的動作。刮板控制部311調節刮板27的移動方向、移動速
度、刮板壓力等。由此，在本實施方式中，在印刷膏狀焊料3時，刮板27以所設定的刮板壓力與絲網掩模26的上表面接觸，并且從該絲網掩模26的寬度方向一側到寬度方向另一側沿著y軸方向直線運動。另外，在焊料印刷機20中，向依次供給的多個印刷基板1依次印刷膏狀焊料3，在本實施方式中，印刷膏狀焊料3時的刮板27的移動方向不在各印刷基板1上變化，而是相同的。另外，印刷膏狀焊料3時的刮板27的移動方向并不限定于y軸方向，也可以是y軸方向以外的方向(例如x軸方向)。
[0098]
此外，與刮板27的移動方向相關的信息從印刷控制裝置31向后述的檢查控制裝置50輸出。
[0099]
印刷用移動控制部312基于存儲在印刷控制裝置31中的各種參數對印刷用移動機構22的動作進行控制。在本實施方式中，通過印刷用移動控制部312對印刷用移動機構22的動作控制，在印刷膏狀焊料3之前，使焊盤2及絲網開口261的位置盡量對齊，進行印刷基板1及絲網掩模26的x-y方向的位置匹配。該位置匹配是基于由用于拍攝印刷基板1的上述相機得到的印刷基板1的拍攝數據和由掩模用相機28得到的絲網掩模26的拍攝數據來進行的。
[0100]
另外，印刷用移動控制部312在進行了印刷基板1以及絲網掩模26的位置匹配之后，控制z軸移動機構223的動作，從而成為以規定的按壓力將絲網掩模26按壓于印刷基板1的狀態。
[0101]
在膏狀焊料3的印刷工序中，首先，通過印刷用移動控制部312或印刷用移動機構22，進行絲網掩模26及印刷基板1的x-y方向的位置匹配，并且使該印刷基板1向上移動，以規定的按壓力對該印刷基板1按壓絲網掩模26。另外，通過規定的焊料供給裝置(未圖示)，向絲網掩模26的上表面供給膏狀焊料3。
[0102]
接著，通過刮板控制部311，利用所設定的刮板壓力使刮板27與絲網掩模26的上表面接觸，并使刮板27沿著規定方向(在本實施方式中為y軸方向)移動(參照圖5)。由此，膏狀焊料3進入到絲網開口261，在印刷基板1上印刷膏狀焊料3。在印刷膏狀焊料3后，通過印刷用移動機構22等使印刷基板1向下移動，使印刷基板1與絲網掩模26分離。另外，印刷有膏狀焊料3的印刷基板1通過規定的輸送機(未圖示)等被輸送給焊料印刷檢查裝置40。
[0103]
接著，對焊料印刷檢查裝置40進行說明。焊料印刷檢查裝置40進行由焊料印刷機20印刷的膏狀焊料3、絲網掩模26的檢查。如圖6、圖7所示，焊料印刷檢查裝置40具備檢查用移動機構42、檢查用軌道機構43、照明裝置44、檢查用相機45、檢查用顯示裝置46、檢查用輸入裝置47以及檢查控制裝置50。
[0104]
檢查用移動機構42是用于在檢查膏狀焊料3等的工序中使印刷基板1移動的機構，設置在規定的基臺41上。檢查用移動機構42具備x軸移動機構421以及y軸移動機構422。通過x軸移動機構421以及y軸移動機構422動作，檢查用軌道機構43沿著x軸方向以及y軸方向滑動移動。另外，在本實施方式中，焊料印刷檢查裝置40中的x軸方向以及y軸方向與焊料印刷機20中的x軸方向以及y軸方向相同。
[0105]
檢查用軌道機構43是載置作為檢查對象的印刷基板1的機構。檢查用軌道機構43具備平行地配設的一對軌道，通過改變這些軌道的間隔，能夠對應寬度不同的各種印刷基板1。檢查用軌道機構43通過檢查用移動機構42的動作而沿著x軸方向及y軸方向移動。通過檢查用軌道機構43移動，能夠使載置于該檢查用軌道機構43上的印刷基板1向任意的方向(x軸方向以及y軸方向)移動。
[0106]
照明裝置44從斜上方對印刷基板1的上表面照射規定的光分量圖案。
[0107]
檢查用相機45對從照明裝置44照射了規定的光分量圖案的印刷基板1進行拍攝。檢查用相機45配置在印刷基板1的正上方，被構成為能夠拍攝印刷基板1的整個區域。因此，通過檢查用相機45，能夠拍攝位于沿著刮板27的移動方向(在本實施方式中為y軸方向)的一端的膏狀焊料3和位于沿著該移動方向的另一端的膏狀焊料3。由檢查用相機45得到的拍攝數據被輸入到檢查控制裝置50。
[0108]
檢查用顯示裝置46例如由液晶顯示器等構成，用于顯示檢查控制裝置50中存儲的各種信息。另外，也可以構成為一個顯示裝置兼作印刷用顯示裝置29以及檢查用顯示裝置46。
[0109]
檢查用輸入裝置47例如由鍵盤等構成，是用于對檢查控制裝置50輸入信息的裝置。另外，也可以構成為一個輸入裝置兼作印刷用輸入裝置30以及檢查用輸入裝置47。
[0110]
檢查控制裝置50是用于控制焊料印刷檢查裝置40的各部(例如檢查用移動機構42、檢查用相機45等)的動作、或進行膏狀焊料3、絲網掩模26的檢查所涉及的處理的裝置。檢查控制裝置50與印刷控制裝置31同樣地，由具備cpu、rom、ram以及存儲裝置的所謂的計算機系統構成。
[0111]
在檢查控制裝置50的存儲裝置中存儲有各種信息。各種信息中包含與執行檢查時的焊料印刷檢查裝置40的動作控制相關的參數、由檢查用相機45、掩模用相機28得到的拍攝數據、進行膏狀焊料3、絲網掩模26的檢查時利用的檢查用信息、基于拍攝數據得到的測量信息、以及表示檢查結果的檢查結果信息等。
[0112]
作為檢查用信息，能夠舉出x軸方向、y軸方向以及z軸方向上的設計上的(理想的)膏狀焊料3的位置、膏狀焊料3的基準體積值、基準面積值、變形、位置偏移所涉及的絲網掩模26的允許量等。另外，作為測量信息，能夠舉出膏狀焊料3的高度(峰值高度、平均高度)、面積、體積值以及三維形狀、以及分別后述的“絲網開口261的位置信息”、“膏狀焊料3的位置信息”等。并且，作為檢查結果信息，能夠舉出與絲網掩模26自身的是否合格相關的判定結果、以及與在印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素(對于印刷基板1的絲網掩模26的按壓力、刮板壓力等)的是否合格相關的判定結果等。
[0113]
檢查控制裝置50具備檢查用移動控制部51、焊料位置信息檢測部52、使用時對應判定部53、開口位置信息檢測部54、未使用時對應判定部55以及各自是否合格判定部56。在本實施方式中，焊料位置信息檢測部52構成“焊料位置信息檢測單元”，同樣地，使用時對應判定部53構成“使用時對應判定單元”，開口位置信息檢測部54構成“開口位置信息檢測單元”，各自是否合格判定部56構成“各自是否合格判定單元”。另外，檢查控制裝置50還具備用于控制照明裝置44的照明控制部、用于控制檢查用相機45的動作的拍攝控制部等(各自沒有圖示)。
[0114]
檢查用移動控制部51基于存儲于檢查控制裝置50的上述參數來控制檢查用移動機構42的動作。通過控制檢查用移動機構42的動作，在適于執行檢查的位置配置印刷基板1。
[0115]
焊料位置信息檢測部52基于由檢查用相機45得到的拍攝數據來測量所印刷的膏狀焊料3的位置、尺寸等。具體而言，焊料位置信息檢測部52測量印刷基板1中的各膏狀焊料3中的、相對于焊盤2的沿著x軸方向以及y軸方向的位置偏移量。另外，焊料位置信息檢測部
52使用預先設定的三維測量方法(例如相移法等)等來測量膏狀焊料3的高度(峰值高度、平均高度)、面積、體積值以及三維形狀。由焊料位置信息檢測部52得到的信息作為測量信息存儲于檢查控制裝置50。
[0116]
另外，焊料位置信息檢測部52利用測量出的位置偏移量和從刮板控制部311輸入的與刮板27的移動方向相關的信息來檢測印刷基板1中的“膏狀焊料3的位置信息”。
[0117]
在本實施方式中，作為“膏狀焊料3的位置信息”，如圖8所示，檢測與位于印刷基板1上的沿著刮板27的移動方向的一端的膏狀焊料3(稱為“一端側膏狀焊料3a”)相關的位置偏移量a和與位于印刷基板1上的沿著所述移動方向的另一端的膏狀焊料3(稱為“另一端側膏狀焊料3b”)相關的位置偏移量b之間的沿著所述移動方向的差(b-a)。即，作為“膏狀焊料3的位置信息”，檢測沿著刮板27的移動方向位于離最遠的位置上的膏狀焊料3a、3b的各位置偏移量a、b沿著該移動方向的差。該差(b-a)相當于印刷膏狀焊料3時的沿著刮板27的移動方向的絲網掩模26的變形量、位置偏移量。
[0118]
另外，更詳細而言，位置偏移量a、b是沿著刮板27的移動方向的、相對于規定的“基準位置”的實際印刷的膏狀焊料3的位置偏移量。在本實施方式中，作為“基準位置”利用設置于印刷基板1上的焊盤2的中心(或重心)。并且，作為位置偏移量a、b，檢測焊盤2的中心(或重心)與以該焊盤2為印刷對象的膏狀焊料3的中心(或重心)之間的沿著刮板27的移動方向的位置偏移量。另外，在本實施方式中，將沿著刮板27的移動方向從“基準位置”朝向一側(在圖8中為右側)的位置偏移量設為“+”，將沿著該移動方向從“基準位置”朝向另一側(在圖8中為左側)的位置偏移量設為
“?”
?！案酄詈噶?的位置信息”作為測量信息存儲于檢查控制裝置50。
[0119]
使用時對應判定部53基于由焊料位置信息檢測部52檢測出的“膏狀焊料3的位置信息”進行印刷時的絲網掩模26的是否合格判定。更詳細而言，使用時對應判定部53將由焊料位置信息檢測部52檢測出的所述差(b-a)的絕對值與作為檢查用信息而存儲的所述允許量進行比較。然后，在所述差(b-a)的絕對值超過所述允許量的情況下，即，在印刷時的絲網掩模26的變形量等處于允許范圍外的情況下，使用時對應判定部53判定印刷時的絲網掩模26為不合格(不是能夠適當地印刷膏狀焊料3的狀態)。另一方面，在所述差(b-a)的絕對值為所述允許量以下的情況下，即，在印刷時的絲網掩模26的變形量等處于允許范圍內的情況下，使用時對應判定部53判定印刷時的絲網掩模26為合格。該判定結果作為檢查結果信息存儲于檢查控制裝置50。
[0120]
開口位置信息檢測部54基于由掩模用相機28得到的拍攝數據來檢測膏狀焊料3的未印刷時的“絲網開口261的位置信息”。在本實施方式中，作為“絲網開口261的位置信息”，如圖9所示，檢測與位于絲網掩模26中的沿著刮板27的移動方向的一端的絲網開口261(一端側絲網開口261a)相關的位置偏移量x和與位于絲網掩模26中的沿著所述移動方向的另一端的絲網開口261(另一端側絲網開口261b)相關的位置偏移量y之間的沿著所述移動方向的差(y-x)。該差(y-x)相當于在未印刷膏狀焊料3時沿著刮板27的移動方向的絲網掩模26的變形量。
[0121]
另外，更詳細而言，位置偏移量x、y是沿著刮板27的移動方向的、相對于規定的“掩?；鶞饰恢谩钡膶嶋H的絲網開口261的位置偏移量。在本實施方式中，作為“掩?；鶞饰恢谩?，利用了設計上的(理想的)絲網開口261的中心(或重心)。并且，作為位置偏移量x、y，檢測設
計上的絲網開口261的中心(或重心)與實際的絲網開口261的中心(或重心)之間的沿著刮板27的移動方向的位置偏移量。另外，在本實施方式中，將沿著刮板27的移動方向從“掩?；鶞饰恢谩背蛞粋?在圖9中為右側)的位置偏移量設為“+”，將沿著該移動方向從“掩?；鶞饰恢谩背蛄硪粋?在圖9中為左側)的位置偏移量設為
“?”
?！敖z網開口261的位置信息”作為測量信息被存儲在檢查控制裝置50的上述存儲裝置中。
[0122]
未使用時對應判定部55基于由開口位置信息檢測部54檢測出的“絲網開口261的位置信息”進行未印刷時(即，不與刮板27、印刷基板1接觸的狀態)的絲網掩模26的是否合格判定。更詳細而言，未使用時對應判定部55將由開口位置信息檢測部54檢測出的所述差(y-x)的絕對值與作為檢查用信息而存儲的所述允許量進行比較。然后，在所述差(y-x)的絕對值超過所述允許量的情況下，即，未印刷時的絲網掩模26的變形量處于允許范圍外的情況下，未使用時對應判定部55判定未印刷時的絲網掩模26為不合格。另一方面，在所述差(y-x)的絕對值為所述允許量以下的情況下，即，未印刷時的絲網掩模26的變形量處于允許范圍內的情況下，未使用時對應判定部55判定未印刷時的絲網掩模26為合格。未印刷時的絲網掩模26的是否合格判定結果作為檢查結果信息存儲于檢查控制裝置50的所述存儲裝置。
[0123]
各自是否合格判定部56基于由焊料位置信息檢測部52檢測出的“膏狀焊料3的位置信息”、以及由開口位置信息檢測部54檢測出的“絲網開口261的位置信息”來判定絲網掩模26自身的是否合格和在印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素(相對于印刷基板1的絲網掩模26的按壓力、刮板壓力等)的是否合格。在本實施方式中，各自是否合格判定部56基于使用時對應判定部53以及未使用時對應判定部55各自的判定結果來判定絲網掩模26自身的是否合格和所述外部因素的是否合格。
[0124]
詳細而言，各自是否合格判定部56在使用時對應判定部53以及未使用時對應判定部55的判定結果分別為合格的情況下，判定絲網掩模26自身為合格，并且上述外部因素也合格。
[0125]
另外，各自是否合格判定部56在使用時對應判定部53及未使用時對應判定部55的判定結果分別不合格的情況下，判定絲網掩模26自身不合格。
[0126]
另一方面，各自是否合格判定部56在使用時對應判定部53的判定結果不合格、未使用時對應判定部55的判定結果為合格的情況下，判定絲網掩模26自身合格，而刮刀壓力等所述外部因素不合格。
[0127]
另外，在使用時對應判定部53的判定結果為合格、未使用時對應判定部55的判定結果為不合格的情況下，各自是否合格判定部56進行規定的異常判定(例如“在膏狀焊料3的位置的檢測中發生了異?！边@樣的判定)。各自是否合格判定部56的判定結果作為檢查結果信息存儲于檢查控制裝置50。
[0128]
并且，各自是否合格判定部56在判定絲網掩模26自身為不合格的情況下，生成催促更換絲網掩模26的信息，并將與該信息相關的信號向檢查用顯示裝置46輸出。由此，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)催促更換絲網掩模26的信息。
[0129]
另一方面，各自是否合格判定部56在判定為印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素為不合格的情況下，生成促使改變與膏狀焊料3的印刷相關的條件的信息，并將與該信息相關的信號向檢查用顯示裝置46輸出。由此，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)促使改
變對絲網掩模26造成影響的印刷條件(例如，相對于印刷基板1的絲網掩模26的按壓力、刮板壓力等)的信息。在本實施方式中，檢查用顯示裝置46構成“信息發送單元”。
[0130]
另外，作為“信息發送單元”，也可以使用能夠通過聲音輸出信息的裝置。另外，作為“信息發送單元”，也可以使用具備通過無線通信接收與上述各信息相關的信號并對作業者發送這些信息的功能的便攜終端。
[0131]
在本實施方式中，由檢查用移動機構42、照明裝置44、檢查用相機45、檢查用顯示裝置46、檢查用輸入裝置47、檢查用移動控制部51、焊料位置信息檢測部52、使用時對應判定部53、開口位置信息檢測部54、未使用時對應判定部55以及各自是否合格判定部56構成用于進行絲網掩模26的檢查的絲網掩模檢查裝置60(參照圖6)。
[0132]
另外，檢查控制裝置50具備焊料是否合格判定部58。焊料是否合格判定部58對由焊料位置信息檢測部52得到的與膏狀焊料3有關的測量信息和所述檢查用信息進行比較，針對每個焊盤2進行膏狀焊料3的印刷狀態(包括在多個焊盤之間形成的焊料橋等)的是否合格判定。在本實施方式中，例如關于峰值高度、平均高度、面積、體積、沿著x軸方向的位置偏移量以及沿著y軸方向的位置偏移量(包含位置偏移量a、b)是否分別滿足基準、膏狀焊料3是否存在擦痕、是否成為不存在膏狀焊料3的“無焊料”狀態等進行判定。是否合格判定結果作為檢查結果信息而被存儲于檢查控制裝置50，且能夠通過檢查用顯示裝置46進行顯示。另外，膏狀焊料3的印刷狀態正常的印刷基板1被引導向其下游的部件安裝機70，另一方面，膏狀焊料3的印刷狀態不合格的印刷基板1由規定的不合格品排出裝置(未圖示)排出。
[0133]
在本實施方式中，由檢查用移動機構42、照明裝置44、檢查用相機45、檢查用移動控制部51、焊料位置信息檢測部52以及焊料是否合格判定部58構成用于檢查印刷在印刷基板1上的膏狀焊料3的焊料檢查部61。焊料檢查部61相當于“焊料檢查單元”。
[0134]
接著，參照圖10，對絲網掩模26的檢查方法進行說明。首先，在步驟s1的掩模拍攝步驟中，利用掩模用相機28拍攝在未印刷膏狀焊料3時與印刷基板1分離的狀態下的絲網掩模26。與絲網掩模26相關的拍攝數據被輸出到檢查控制裝置50等。
[0135]
接著，在步驟s2的開口位置信息檢測步驟中，通過開口位置信息檢測部54基于在步驟s1中得到的拍攝數據來檢測未印刷膏狀焊料3時的“絲網開口261的位置信息”(y-x)。
[0136]
在接下來的步驟s3的未使用時對應判定步驟中，基于在步驟s2中得到的檢測結果，通過未使用時對應判定部55進行與未印刷時的絲網掩模26相關的是否合格判定。即，判定絲網掩模26單體是否合格。
[0137]
在步驟s4的基板拍攝步驟中，通過檢查用相機45來拍攝印刷有膏狀焊料3的印刷基板1。與所獲得的印刷基板1相關的拍攝數據被輸出至檢查控制裝置50。
[0138]
接著，在步驟s5的焊料位置信息檢測步驟中，通過焊料位置信息檢測部52，基于在步驟s4中得到的拍攝數據來檢測“膏狀焊料3的位置信息”(b-a)。
[0139]
在步驟s6的使用時對應判定步驟中，基于在步驟s5中得到的檢測結果，通過使用時對應判定部53進行與印刷時的絲網掩模26相關的是否合格判定。即，判定考慮了印刷時的外部因素的絲網掩模26是否合格。另外，步驟s1～s3所涉及的處理也可以在與步驟s4～s6所涉及的處理相同的時期或之后進行。
[0140]
接著，在步驟s7的各自是否合格判定工序中，通過各自是否合格判定部56基于與印刷時和未印刷時的絲網掩模26相關的各自的判定結果、即步驟s3、s6中的各判定結果來
判定絲網掩模26自身的是否合格和印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素的是否合格。
[0141]
然后，在步驟s8的輸出步驟中，根據步驟s7中的判定結果向檢查用顯示裝置46輸出與該判定結果對應的信號。通過該信號的輸出，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)催促更換絲網掩模26的信息、或者促使改變對絲網掩模26造成影響的印刷條件的信息。
[0142]
如以上詳述的那樣，根據本實施方式，檢測出“膏狀焊料3的位置信息”，基于該檢測出的位置信息進行與印刷時的絲網掩模26相關的是否合格判定。通過利用這樣印刷的膏狀焊料3的位置信息，能夠不僅考慮絲網掩模26自身，還考慮到對印刷基板1的按壓力、從刮板27施加的力等在印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素，來判定與印刷時的絲網掩模26相關的是否合格。因此，能夠更準確地檢查絲網掩模26是否處于能夠適當地印刷膏狀焊料3的狀態。
[0143]
另外，作為“膏狀焊料3的位置信息”，檢測基于膏狀焊料3的位置偏移量a、b的信息。因此，能夠容易地得到進行是否合格判定所需的位置信息，能夠降低與檢查處理相關的負擔。
[0144]
并且，作為“膏狀焊料3的位置信息”，使用了沿著刮板27的移動方向的位置偏移量a、b的差。即，使用具有沿著刮板27的移動方向的分量的信息。因此，能夠得到強烈地反映了移動的刮板27的影響的、絲網掩模26中的變形、位置偏移的程度更容易明確顯現的位置信息。因此，能夠高精度地檢查絲網掩模26是否處于能夠適當地印刷膏狀焊料3的狀態。
[0145]
特別是在本實施方式中，作為“膏狀焊料3的位置信息”，使用位于沿著刮板27的移動方向而分離的位置上的一端側膏狀焊料3a以及另一端側膏狀焊料3b的各位置偏移量a、b的差。因此，“膏狀焊料3的位置信息”更容易掌握絲網掩模26中的變形、位置偏移的程度，能夠進一步提高檢查精度。
[0146]
并且，絲網掩模檢查裝置60設置于具備基于位置偏移量a、b判定膏狀焊料3的是否合格的焊料檢查部61的焊料印刷檢查裝置40，結果能夠基于在焊料檢查部61的是否合格判定中利用的位置偏移量a、b來進行絲網掩模26的檢查。因此，能夠提高與絲網掩模26和膏狀焊料3的檢查相關的處理的效率。
[0147]
另外，能夠基于“膏狀焊料3的位置信息”以及“絲網開口261的位置信息”來判定絲網掩模26自身的是否合格、以及在印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素的是否合格。因此，能夠更準確地掌握絲網掩模26不是能夠適當地印刷膏狀焊料3的狀態的原因。其結果是，能夠從作為對印刷不良的應對處理而考慮的多個方法(例如，絲網掩模26的更換、印刷條件的改變等)中更容易地選擇、決定適當的方法，能夠更迅速地進行應對處理。
[0148]
并且，在本實施方式中，基于各自是否合格判定部56的判定結果，發送催促更換絲網掩模26的信息、或促使改變對絲網掩模26造成影響的印刷條件的信息。由此，在判定印刷時的絲網掩模26為不合格時，作業者能夠早期且準確地掌握應執行的應對處理。其結果是，能夠更迅速地進行應對處理，能夠提高生產效率。
[0149]
另外，并不限定于上述實施方式的記載內容，例如也可以如下實施。當然，也可以是以下未例示的其他應用例、變更例。
[0150]
(a)在上述實施方式中，作為基于一端側膏狀焊料3a的位置偏移量a以及另一端側膏狀焊料3b的位置偏移量b的信息，列舉了兩位置偏移量之差(b-a)，但基于兩位置偏移量a、b的信息并不限定于此。因此，作為基于兩位置偏移量a、b的信息，也可以使用各位置偏移
量a、b的絕對值之和、這些絕對值的平均值等。
[0151]
另外，作為“膏狀焊料3的位置信息”，也可以使用基于印刷基板1上的2個膏狀焊料3a、3b以外的任意2個膏狀焊料3的位置偏移量的信息(例如任意的2個膏狀焊料3各自的位置偏移量之差)。此外，作為“膏狀焊料3的位置信息”，也可以使用基于與任意的1個膏狀焊料3相關的位置偏移量的信息。當然，也可以使用基于與3個以上的膏狀焊料3相關的位置偏移量的信息。
[0152]
并且，也可以構成為：作為“膏狀焊料3的位置信息”，檢測表示印刷基板1上的膏狀焊料3之間的距離的信息。例如，如圖11所示，也可以構成為：作為“膏狀焊料3的位置信息”，檢測沿著刮板27的移動方向的一端側膏狀焊料3a以及另一端側膏狀焊料3b間的距離l(例如，各膏狀焊料3a、3b的各中心間的距離)。即使在這樣構成的情況下，也能夠容易地得到為了進行是否合格判定所需的位置信息，能夠降低與檢查處理相關的負擔。另外，也可以將與上述膏狀焊料3a、3b不同的多個膏狀焊料3之間的距離作為“膏狀焊料3的位置信息”進行檢測。
[0153]
另外，在上述實施方式中，作為用于計算位置偏移量a、b的“基準位置”，舉出了設置于印刷基板1上的焊盤2的中心(或重心)。與此相對，作為“基準位置”，也可以使用理想的(設計上的)膏狀焊料3的印刷位置、印刷基板1中的所選擇的任意的位置(例如，印刷基板1的外緣部中的任意一邊、附加于印刷基板1的標記、沿著刮板27的移動方向的印刷基板1的中心)等。
[0154]
(b)在上述實施方式中，被構成為：作為“絲網開口261的位置信息”，檢測沿著刮板27的移動方向上的、與一端側絲網開口261a相關的位置偏移量x和與另一端側絲網開口261b相關的位置偏移量y之差(y-x)，但“絲網開口261的位置信息”并不限定于此。
[0155]
因此，作為“絲網開口261的位置信息”，也可以使用基于絲網掩模26中的2個絲網開口261a、261b以外的任意2個絲網開口261的位置偏移量的信息(例如任意2個絲網開口261中的各位置偏移量的差)。另外，作為“絲網開口261的位置信息”，也可以使用基于1個或3個以上的絲網開口261的位置偏移量的信息。
[0156]
并且，也可以構成為：作為“絲網開口261的位置信息”，檢測表示絲網掩模26中的多個絲網開口261之間的距離的信息。例如，也可以構成為：作為“絲網開口261的位置信息”，如圖12所示，檢測沿著刮板27的移動方向上的一端側絲網開口261a與另一端側絲網開口261b之間的距離m(例如，各絲網開口261a、261b的各中心間的距離)。當然，也可以檢測與上述絲網開口261a、26b不同的多個絲網開口261之間的距離作為“絲網開口261的位置信息”。
[0157]
另外，在上述實施方式中，將設計上的絲網開口261的中心(或重心)設為“掩?；鶞饰恢谩保瑱z測了“絲網開口261的位置信息”。與此相對，也可以將絲網掩模26中的所選擇的任意位置(例如，絲網掩模26的中心、對絲網掩模26附加的規定的標記)、保持絲網掩模26的框架262的規定位置(例如，框架262的外緣部中的任意的一邊)等設為“掩?；鶞饰恢谩?，檢測出“絲網開口261的位置信息”。
[0158]
此外，作為“絲網開口261的位置信息”，也可以利用間接表示絲網開口261的位置的信息。例如，作為“絲網開口261的位置信息”，也可以利用附加于絲網掩模26的任意2個標記的間隔等。
[0159]
另外，如上述實施方式那樣，作為“絲網開口261的位置信息”，優選使用具有沿著刮板27的移動方向的分量的信息。在該情況下，能夠得到更強烈地反映了移動的刮板27的影響的、絲網掩模26中的變形的程度更容易明確顯現的位置信息。因此，能夠更高精度地檢查印網掩模26自身是否合格。
[0160]
(c)在上述實施方式中，各自是否合格判定部56基于使用時對應判定部53及未使用時對應判定部55的各自的判定結果來判定絲網掩模26自身是否合格等。與此相對，各自是否合格判定部56也可以不使用兩判定部53、55的判定結果，而基于由焊料位置信息檢測部52得到的“膏狀焊料3的位置信息”以及由開口位置信息檢測部54得到的“絲網開口261的位置信息”來判定絲網掩模26自身是否合格等。例如，也可以對“膏狀焊料3的位置信息”以及“絲網開口261的位置信息”進行比較來進行是否合格判定。
[0161]
(d)在上述實施方式中，被構成為：在通過各自是否合格判定部56判定印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素為不合格的情況下，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)催促改變與膏狀焊料3的印刷有關的條件的信息。
[0162]
與此相對，也可以設置如下功能：在判定印刷時對絲網掩模26造成影響的外部因素為不合格的情況下，自動地改變與膏狀焊料3的印刷有關的條件。例如，也可以設置如下功能：在外部因素不合格的情況下，在一定的適當范圍內自動地調節刮板壓力或絲網掩模26對印刷基板1的按壓力。在該情況下，作業者不需要調節刮板壓力等，能夠進一步實現生產效率的提高。
[0163]
(e)也可以構成為：在由使用時對應判定部53沒有進行不合格判定的狀態(即，絲網掩模26能夠適當地印刷狀焊料3的狀態)、且“膏狀焊料3的位置信息”滿足一定的條件時，發送促使改變對絲網掩模26造成影響的印刷條件的信息。在該情況下，在絲網掩模26成為無法適當地印刷膏狀焊料3的狀態之前，能夠提前改變印刷條件。因此，能夠抑制不合格品的印刷基板1的制造，能夠實現制造成本的降低。另外，也可以構成為在“膏狀焊料3的位置信息”滿足一定的條件時，自動地調節印刷條件。
[0164]
(f)在上述實施方式中，構成為印刷膏狀焊料3時的刮板27的移動方向在各印刷基板1中相同，但也可以構成為針對每個印刷基板1適當地改變刮板27的移動方向。例如，也可以構成為：在對某個印刷基板1印刷膏狀焊料3時，刮板27在x軸方向上移動，在下一個印刷基板1上印刷膏狀焊料3時，刮板27在y軸方向上移動。
[0165]
符號說明
[0166]1…
印刷基板(基板)、3
…
膏狀焊料、26
…
絲網掩模、27
…
刮板、40
…
焊料印刷檢查裝置、52
…
焊料位置信息檢測部(焊料位置信息檢測單元)、53
…
使用時對應判定部(使用時對應判定單元)、54
…
開口位置信息檢測部(開口位置信息檢測單元)、56
…
各自是否合格判定部(各自是否合格判定單元)、60
…
絲網掩模檢查裝置、261
…
絲網開口。