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        用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法與流程

        文檔序號:21926496發布日期:2020-08-21 14:47閱讀:351來源:國知局
        技術特征:

        1.一種用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是,所述微反應池陣列的制備方法包括如下步驟:

        步驟1、提供光纖面板(1),并對所述光纖面板(1)進行所需的清洗;

        步驟2、在上述清洗后的光纖面板(1)上涂覆得到su8光刻膠膜(2);

        步驟3、對上述光纖面板(1)以及su8光刻膠膜(2)進行熱烘,在熱烘時,先在65℃~85℃下熱烘5min~15min,然后在95℃~105℃下熱烘10min~20min;在上述烘烤后,降至45℃~65℃下熱烘10min~20min,最后自然冷卻至常溫;

        步驟4、對上述su8光刻膠膜(2)進行曝光,以在光纖面板(1)上得到圖形化光刻膠膜;

        步驟5、對上述光纖面板(1)以及圖形化光刻膠膜再次熱烘,并在熱烘后置于氮氣環境中冷卻至室溫;其中,在熱烘時,先在65℃~85℃下熱烘10min~20min,然后在90℃~100℃下熱烘15min~25min,再降至45℃~65℃下熱烘10min~20min,最后自然冷卻至常溫;

        步驟6、對上述圖形化光刻膠膜進行顯影,以在光纖面板(1)上得到所需的微反應池陣列,所述微反應池陣列內包括若干微反應池(5),所述微反應池(5)包括垂直于光纖面板(1)上的反應池體(7)以及位于所述反應池體(7)內中心區的池體槽(6),所述池體槽(6)貫通反應池體(7)。

        2.根據權利要求1所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是:在光纖面板(1)上得到微反應池陣列后,將具有微反應池陣列的光纖面板(1)置于烘箱中,其中,先將烘箱的溫度設定在180℃~210℃并保持2h,然后逐步降溫至常溫。

        3.根據權利要求2所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是:在逐步降溫過程中,依次將烘箱內的溫度降至150℃、100℃、50℃,最后將烘箱內的溫度降至常溫;其中,在烘箱內的溫度降至150℃后,使得烘箱內溫度在150℃保持10min~15min,烘箱內的溫度降至100℃后,使得烘箱內溫度在100℃保持10min~15min;烘箱內的溫度降至50℃后,使得烘箱內的溫度在50℃保持10min~15min。

        4.根據權利要求1或2或3所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是:所述反應池體(7)的深度為30μm,反應池體(7)的側壁厚度為6μm,池體槽(6)的寬度為28μm。

        5.根據權利要求1所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是,步驟1中,對光纖面板(1)的清洗過程包括如下步驟:

        步驟1.1、將光纖面板(1)置于玻璃水中,并利用超聲清洗后,利用去離子水清洗,在用去離子水清洗后,用氮氣將光纖面板(1)吹干;

        步驟1.2、對光纖面板(1)利用等離子體清洗,并在清洗后,依次采用三氯乙烯、丙酮、乙醇對所述光纖面板(1)進行有機清洗,在有機清洗后,利用去離子水對光纖面板(1)進行清洗;

        步驟1.3、對上述清洗后的光纖面板(1)采用氮氣吹干,并將吹干后的光纖面板(1)置于110℃~130℃中熱烘20min~40min;在熱烘后,光纖面板(1)降至常溫后,置于氮氣柜中。

        6.根據權利要求1所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是,步驟2中,在涂覆得到su8光刻膠膜(2)時包括如下步驟:

        步驟2.1、提供su8光刻膠液并靜置排泡,取靜置排泡后的su8光刻膠液10ml并滴在置于勻膠機托盤上的光纖面板(1)上;

        步驟2.2、利用勻膠機轉動光纖面板(1),在轉動時,光纖面板(1)在600r/min~700r/min下轉動10s~20s,然后在2000r/min~2500r/min下轉動30s~40s,最后在800r/min~1000r/min下轉動10s~20s;在轉動結束后,能在光纖面板(1)上得到25μm~30μm的su8光刻膠膜(2)。

        7.根據權利要求1所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是,步驟4中,利用365nm的紫外線下對su8光刻膠膜(2)進行曝光,曝光劑量為170mj/cm2~200mj/cm2

        8.根據權利要求1所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是,步驟6中,顯影時,包括如下步驟:

        步驟6.1、將光纖面板(1)以及圖形化光刻膠膜泡在顯影液中1min~2min,然后再晃動20s~30s,最后將光纖面板(1)以及圖形化光刻膠膜在顯影液中顯影10min~30min;

        步驟6.2、將對光纖面板(1)以及圖形化光刻膠膜利用新的顯影液并顯影6min~12min,在顯影后,利用異丙醇漂洗2min~10min,以在光纖面板(1)上得到所需的微反應池陣列。

        9.根據權利要求1或2或3所述的用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其特征是:所述池體槽(6)的橫截面呈六邊形。


        技術總結
        本發明涉及一種用于高通量焦磷酸測序芯片微反應池陣列的制備方法,其包括如下步驟:步驟1、對光纖面板進行所需的清洗;步驟2、得到SU8光刻膠膜;步驟3、對上述光纖面板以及SU8光刻膠膜進行熱烘,步驟4、對上述SU8光刻膠膜進行曝光;步驟5、對上述光纖面板以及圖形化光刻膠膜再次熱烘,并在熱烘后置于氮氣環境中冷卻至室溫;步驟6、對上述圖形化光刻膠膜進行顯影,以在光纖面板上得到所需的微反應池陣列。本發明能有效制備得到微反應池,與現有工藝兼容,安全可靠。

        技術研發人員:王云翔;李瑾;冒薇;王豐梅
        受保護的技術使用者:蘇州研材微納科技有限公司
        技術研發日:2020.05.21
        技術公布日:2020.08.21
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