本發明涉及一種形成太鼓狀晶圓片的裝置及其方法，特別是一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓(taiko)結構的裝置及其方法。
背景技術：
1、現有技術，如圖1所示，使用具有至少一研磨塊組成的研磨機，研磨機在待薄化的晶圓片1上研磨，由研磨塊將晶圓片的中央部位，磨出一凹槽11的槽底面13，周徑形成一環狀的邊框12。現有技術研磨塊將晶圓片1研磨成晶圓片半徑r0以及槽半徑r1的太鼓狀(taiko)晶圓片。
技術實現思路
1、本發明提供一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其中包括：一長柱型陣列激光，設有至少一飛秒激光；一操作臺，設于該長柱型陣列激光下方；一晶圓片，置于該操作臺上，其中待薄化的該晶圓片的晶圓表面，具有該晶圓片的外周徑是一晶圓片半徑r0，以及具有該晶圓片的內周徑是一槽半徑r1，其中沿該長柱型陣列激光一端的飛秒激光(femtosecond?laser)聚焦該中心軸，延展至該長柱型陣列激光另一端的飛秒激光(femtosecond?laser)聚焦到該槽半徑r1；以及至少一控制模塊，控制旋轉該晶圓片或是旋轉該長柱型陣列激光，逐圈旋轉狀態下，該長柱型陣列激光融蝕該晶圓片，形成薄化后該晶圓片的中央部位是一槽底面，該槽底面形成水平的盤狀凹陷切面，其中環繞薄化后該晶圓片的中央部位的周圍未被融蝕，形成該晶圓片的邊框，該晶圓片的邊框以及該凹槽的槽底面，共同形成太鼓(taiko)結構的該晶圓片。
2、本發明的一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其中該操作臺是一旋轉型的冷凍機。
3、本發明的一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其中該飛秒激光(femtosecond?laser)是使用綠光。
4、本發明的一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其中該飛秒激光(femtosecond?laser)的掃描光點是2μm。
5、本發明提供一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其中步驟包括：步驟1，使用待薄化形成太鼓結構的晶圓片，固持該晶圓片于一操作臺；步驟2，使用該操作臺，沿該晶圓片的中心軸，進行同步轉動，旋轉待薄化形成太鼓結構的該晶圓片；步驟3，使用至少一飛秒激光(femtosecond?laser)組成一長柱型陣列激光，該長柱型陣列激光設有線狀的排列結構，待薄化的該晶圓片的晶圓表面，具有該晶圓片的外周徑是一晶圓片半徑r0，以及具有該晶圓片的內周徑是一槽半徑r1，其中沿該長柱型陣列激光一端的飛秒激光(femtosecond?laser)聚焦該中心軸，延展至該長柱型陣列激光另一端的飛秒激光(femtosecond?laser)聚焦到該槽半徑r1；步驟4，使用該至少一飛秒激光(femtosecondlaser)的脈沖(pulse)，形成一條直線型排列的柱狀光點，進行熔融蝕刻該晶圓片的晶圓表面；以及步驟5，使用該長柱型陣列激光，射向旋轉中待薄化形成太鼓結構的該晶圓片，同時一控制模塊進行至少一圈旋轉該晶圓片，逐圈旋轉狀態下，融蝕該晶圓片，形成薄化后該晶圓片的中央部位是一槽底面，該槽底面形成水平的盤狀凹陷切面，其中環繞薄化后該晶圓片的中央部位的周圍未被融蝕，形成該晶圓片的邊框，該晶圓片的邊框以及該凹槽的槽底面，共同形成太鼓(taiko)結構的該晶圓片。
6、本發明提供一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其中步驟包括：步驟1，使用待薄化形成太鼓結構的晶圓片，固持該晶圓片于一操作臺；步驟2，使用至少一飛秒激光(femtosecond?laser)組成一長柱型陣列激光，該長柱型陣列激光設有線狀的排列結構，待薄化的該晶圓片的晶圓表面，具有該晶圓片的外周徑是一晶圓片半徑r0，以及具有該晶圓片的內周徑是一槽半徑r1，其中沿該長柱型陣列激光一端的飛秒激光(femtosecondlaser)聚焦該中心軸，延展至該長柱型陣列激光另一端的飛秒激光(femtosecond?laser)聚焦到該槽半徑r1；步驟3，使用該至少一飛秒激光(femtosecond?laser)的脈沖(pulse)，形成一條直線型排列的柱狀光點，進行熔融蝕刻該晶圓片的晶圓表面；步驟4，使用該長柱型陣列激光的一端定位于該晶圓片的中心軸上方，進行轉動該長柱型陣列激光的另一端，進行掃描；以及步驟5，該長柱型陣列激光射向旋轉中待薄化形成太鼓結構的該晶圓片，同時一控制模塊進行至少一圈旋轉該長柱型陣列激光，逐圈旋轉狀態下，融蝕該晶圓片，形成薄化后該晶圓片的中央部位是一槽底面，該槽底面形成水平的盤狀凹陷切面，其中環繞薄化后該晶圓片的中央部位的周圍未被融蝕，形成該晶圓片的邊框，該晶圓片的邊框以及該凹槽的槽底面，共同形成太鼓(taiko)結構的該晶圓片。
7、本發明的一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其中該操作臺設有一轉盤式冷凍機。其中該飛秒激光(femtosecond?laser)是使用綠光。其中該飛秒激光(femtosecond?laser)的掃描光點是2μm。
8、本發明的一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置及其方法，具有飛秒激光(femtosecond?laser)的掃描光點是2μm，可以達到快速融蝕晶圓片表面的功效，并且薄化后形成太鼓結構的晶圓片的具體目的。此外，轉盤式冷凍機減少飛秒激光(femtosecondlaser)快速融蝕晶圓片的熱散，相對減少太鼓結構的晶圓片的脆裂。
9、以上之敘述以及說明僅為本發明之較佳實施例之說明，對于本領域的技術人員當可依據以下所界定權利要求書以及上述之說明而作其他之修改，惟此些修改仍應是為本發明之創作精神而在本發明之權利范圍中。
1.一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其特征在于，該操作臺是一旋轉型的冷凍機。
3.如權利要求1所述的激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其特征在于，該飛秒激光(femtosecond?laser)是使用綠光。
4.如權利要求1所述的激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的裝置，其特征在于，該飛秒激光(femtosecond?laser)的掃描光點是2μm。
5.一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其特征在于，步驟包括：
6.一種激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其特征在于，步驟包括：
7.如權利要求5或6所述的激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其特征在于，該操作臺設有一轉盤式冷凍機。
8.如權利要求5或6所述的激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其中該飛秒激光(femtosecondlaser)是使用綠光。
9.如權利要求5或6所述的激光蝕刻薄片狀晶圓片形成太鼓結構的方法，其中該飛秒激光(femtosecondlaser)的掃描光點是2μm。