本發明涉及氮氣凈化（purification）裝置。
背景技術：
1、已知一種氮氣凈化裝置，其具有在常溫下吸附導入的氮氣中的雜質氣體的吸附裝置（例如，參照專利文獻1）。
2、（現有技術文獻）
3、（專利文獻）
4、專利文獻1：日本特開2003-146628號公報
技術實現思路
1、（發明所要解決的問題）
2、上述那樣的氮氣凈化裝置能夠去除水分等的雜質氣體，但難以去除碳氫化合物（hydrocarbon）等的雜質氣體。
3、因此，本發明的目的在于，提供一種能夠去除在常溫下難以去除的雜質氣體的氮氣凈化裝置。
4、（解決問題所采用的措施）
5、本發明的一個方式如下所述。
6、[1]
7、一種氮氣凈化裝置，其具有：吸附部；導入通路，其通向所述吸附部；以及排出通路，其與所述吸附部相連，將在所述吸附部中吸附從所述導入通路導入至所述吸附部的氮氣中的雜質氣體而凈化的所述氮氣從所述吸附部排出至所述排出通路，
8、其中，所述導入通路具有利用與液氮之間的熱交換而對所述氮氣進行冷卻的熱交換器。
9、[2]
10、根據[1]所述的氮氣凈化裝置，所述導入通路在比所述熱交換器更靠近上游側具有副熱交換器，所述副熱交換器利用與在所述排出通路中流動的所述氮氣之間的熱交換而對在所述導入通路中流動的所述氮氣進行冷卻。
11、[3]
12、根據[2]所述的氮氣凈化裝置，所述氮氣凈化裝置具有恒溫槽，所述恒溫槽具有被真空絕熱部包圍的恒溫室，
13、所述吸附部和所述熱交換器設置于所述恒溫室內，
14、所述副熱交換器設置于所述真空絕熱部內。
15、[4]
16、根據[3]所述的氮氣凈化裝置，所述氮氣凈化裝置具有控制部，所述控制部調節導入至所述熱交換器的所述液氮的流量和溫度，以使所述恒溫室內的規定部分的溫度成為-160°c以上且-100°c以下。
17、[5]
18、一種氮氣凈化系統，其具有：
19、[1]～[4]中任一項所述的氮氣凈化裝置（a）；
20、[1]～[4]中任一項所述的氮氣凈化裝置（b）；
21、共通導入通路，其分支成所述氮氣凈化裝置（a）的導入通路（a）和所述氮氣凈化裝置（b）的導入通路（b）；以及
22、共通排出通路，其由所述氮氣凈化裝置（a）的排出通路（a）和所述氮氣凈化裝置（b）的排出通路（b）匯合而成，
23、交替利用所述氮氣凈化裝置（a）和所述氮氣凈化裝置（b）而進行從所述共通導入路通路導入并排出至所述共通排出通路的所述氮氣的凈化。
24、（發明的效果）
25、根據本發明，能夠提供一種能夠去除在常溫下難以去除的雜質氣體的氮氣凈化裝置。
1.一種氮氣凈化裝置，其具有：吸附部；導入通路，其通向所述吸附部；以及排出通路，其與所述吸附部相連，將在所述吸附部中吸附從所述導入通路導入至所述吸附部的氮氣中的雜質氣體而凈化的所述氮氣從所述吸附部排出至所述排出通路，其特征在于，
2.根據權利要求1所述的氮氣凈化裝置，其中，
3.根據權利要求2所述的氮氣凈化裝置，其中，
4.根據權利要求3所述的氮氣凈化裝置，其中，
5.一種氮氣凈化系統，其特征在于，具有：