1.一種超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔,其特征在于,包括銅箔以及包覆在所述銅箔表面的石墨烯層,所述銅箔通過(guò)電沉積工藝制備而成,所述石墨烯層通過(guò)原位化學(xué)氣相沉積工藝制備而成,并且在制備所述石墨烯層之前所述銅箔預(yù)先經(jīng)過(guò)高溫退火處理。
2.如權(quán)利要求1所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔,其特征在于,所述銅箔的厚度為12~30μm。
3.如權(quán)利要求1或2所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔,其特征在于,所述石墨烯層為單層或雙層石墨烯。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
5.如權(quán)利要求4所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔的制備方法,其特征在于,步驟(1)中,電解液的硫酸銅濃度為140~180g/l,硫酸濃度為60~100g/l,氯離子濃度為30~70mg/l,聚二硫二丙烷磺酸鈉濃度為5~50mg/l,健那綠b濃度為10~50mg/l,聚乙二醇濃度為30mg/l;老化處理的電流密度為5~15a/dm2,時(shí)間為20~40分鐘。
6.如權(quán)利要求4或5所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔的制備方法,其特征在于,步驟(1)中,電沉積參數(shù)為:陰極電流密度15~35a/dm2,沉積時(shí)間35~110分鐘,陰極輥轉(zhuǎn)速?5~25rpm,極間距50~80mm。
7.如權(quán)利要求4或5所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔的制備方法,其特征在于,步驟(2)中,稀硫酸的濃度為1wt%,浸漬時(shí)間為30~60秒。
8.如權(quán)利要求4或5所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔的制備方法,其特征在于,步驟(2)中,高溫退火處理在ar和h2的混合氣氣氛中進(jìn)行,ar的氣體流量為400~600sccm,h2的氣體流量為30~70sccm,高溫退火處理的升溫速率為20~30°c/min,退火溫度為950~1050°c,退火時(shí)間為20~40分鐘。
9.如權(quán)利要求4或5所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔的制備方法,其特征在于,步驟(3)中,生長(zhǎng)參數(shù)為:生長(zhǎng)溫度980~1020°c,碳源流量3~15sccm,h2流量20~80sccm,ar流量500sccm,壓力500~2000?pa,生長(zhǎng)時(shí)間15~45分鐘。
10.如權(quán)利要求1或2或3所述的超低輪廓可用于高頻電路的復(fù)合銅箔在高頻/高速通信設(shè)備、鋰離子電池、汽車(chē)電子或高端測(cè)試儀器中的應(yīng)用。