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        一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置的制作方法

        文檔序號:45271322發(fā)布日期:2026-04-17 20:10閱讀:9來源:國知局

        本發(fā)明涉及激光連接裝置,具體為一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置。


        背景技術(shù):

        1、氮化硅鎢合金加熱片廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體熱管理、工業(yè)精密加熱等領(lǐng)域,核心需求是實現(xiàn)高強度冶金連接、低接觸電阻、抗熱疲勞、窄間隙適配。氮化硅陶瓷具備高硬度、低導(dǎo)熱、優(yōu)異絕緣性與耐高溫性,鎢合金則有高熔點、良好導(dǎo)電性與發(fā)熱穩(wěn)定性,二者復(fù)合可滿足極端工況下的加熱與絕緣協(xié)同需求。

        2、目前氮化硅鎢合金加熱片在生產(chǎn)時多采用高溫釬焊技術(shù),如中國專利cn106695141b,該專利公開了一種利用納米多層膜自蔓延反應(yīng)輔助激光高溫釬焊的方法屬于激光焊接技術(shù)領(lǐng)域,在基底上采用磁控濺射方法交替沉積雙金屬的納米膜;將沉積的雙金屬納米多層膜從基底上剝離;將剝離的多層膜置于兩層釬料中間,成為復(fù)合中間層;將待焊接的母材進行表面預(yù)處理;將復(fù)合中間層置于得到的母材之間,焊接采用搭接方式,采用激光對復(fù)合中間層進行掃描焊接。納米多層膜在激光的引燃后會發(fā)生自蔓延反應(yīng),反應(yīng)放出大量熱量可熔化低熔點釬料,使得焊接過程不僅在搭接接頭處形成連接,在整個搭接面都形成連接,增大接頭的連接強度,完成材料的連接。本發(fā)明可改善激光作為局部熱源的加熱不均勻性,使其形成更均勻的界面反應(yīng),可提高接頭致密度。

        3、但是,上述專利,由于該工藝流程中整體溫度需加熱至800度以上,且利用雙金屬納米多層膜的自蔓延反應(yīng)融化釬料周期較長,此時會在氮化硅中產(chǎn)生巨大殘留熱應(yīng)力,易使其發(fā)生開裂的情況,且連接完成后的釬料層通常較軟,同時由于其成分于母材差異大,在高溫環(huán)境使用時,其連接的可靠性不足。


        技術(shù)實現(xiàn)思路

        1、本發(fā)明的目的在于提供一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

        2、為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,包括:

        3、放置臺,用于固定氮化硅板、鎢合金和反應(yīng)箔;

        4、激光頭,設(shè)置于所述放置臺一側(cè),所述激光頭從內(nèi)到外依次同軸設(shè)置有點燃層、氣流層和射流層;

        5、預(yù)處理裝置,與放置臺固定連接,內(nèi)設(shè)置有纏繞組件、固定組件和激光點焊頭,以使所述反應(yīng)箔貼合于所述鎢合金表面;

        6、以及預(yù)熱導(dǎo)管,設(shè)置于所述氮化硅板及所述預(yù)處理裝置之間,以使所述鎢合金和所述反應(yīng)箔可進入氮化硅板中;

        7、其中,所述纏繞組件包括驅(qū)動單元、頂板、組合筒和底板,組合筒設(shè)有兩個且均與底板轉(zhuǎn)動連接,組合筒的表面與驅(qū)動單元通過頂板連接,組合筒內(nèi)壁的直徑等于鎢合金的直徑及反應(yīng)箔的厚度之和。

        8、優(yōu)選的,所述激光頭中,氣流層向內(nèi)傾斜,氣流層的輸出方向朝向點燃層,點燃層內(nèi)壁的末端固定連接有鏡片。

        9、優(yōu)選的,所述放置臺的表面可拆卸的安裝有氮化硅板,氮化硅板的側(cè)面開設(shè)有貫穿的連接孔,放置臺的一側(cè)與激光頭固定連接,激光頭與連接孔同軸對齊,放置臺的另一側(cè)與預(yù)處理裝置固定連接。

        10、優(yōu)選的,所述驅(qū)動單元固定連接于預(yù)處理裝置內(nèi)部的底端,驅(qū)動單元的輸出端固定連接有滑動框,滑動框的兩端固定連接有呈y狀的限位框,限位框的內(nèi)弧面固定連接有t狀頂板,限位框及頂板的表面均勻與兩個組合筒接觸。

        11、優(yōu)選的,兩個所述組合筒的截面均呈半圓狀,組合筒的兩端與底板的兩端鉸接且表面開設(shè)有一排均勻設(shè)置的通孔,底板的兩端與預(yù)處理裝置固定連接,底板的下側(cè)固定連接有若干個導(dǎo)氣管,導(dǎo)氣管的另一端穿過預(yù)處理裝置,底板的上側(cè)與反應(yīng)箔接觸,反應(yīng)箔與導(dǎo)氣管之間為負(fù)壓。

        12、優(yōu)選的,所述預(yù)處理裝置內(nèi)壁上端固定連接有若干個激光點焊頭,兩個組合筒合并時激光點焊頭位于通孔的正上方,預(yù)處理裝置的表面固定連接有導(dǎo)入管,導(dǎo)入管遠離預(yù)處理裝置的一端固定連接有電動推桿,導(dǎo)入管、預(yù)熱導(dǎo)管和連接孔同軸對齊。

        13、優(yōu)選的,所述預(yù)熱導(dǎo)管呈凸?fàn)睿湟欢伺c氮化硅板接觸且此端內(nèi)壁直徑等于連接孔直徑,預(yù)熱導(dǎo)管另一端與預(yù)處理裝置固定連接且此端內(nèi)壁直徑大于連接孔直徑,預(yù)熱導(dǎo)管內(nèi)壁中部為圓滑曲面。

        14、優(yōu)選的,所述鎢合金的兩端均固定連接有針腳,鎢合金的表面與反應(yīng)箔接觸,反應(yīng)箔為ni-al系自蔓延反應(yīng)箔,其兩端為斜邊,整體為平行四邊形狀。

        15、優(yōu)選的,所述固定組件包括絲桿一、連接桿一、夾具和與預(yù)處理裝置固定連接的導(dǎo)向桿及,絲桿一的表面螺紋連接有兩個對稱設(shè)置的滑塊,導(dǎo)向桿的表面滑動連接有兩個對稱設(shè)置的滑塊,兩個同水平面的滑塊之間通過連接桿一固定連接,滑塊的一側(cè)均固定連接有夾具,夾具與針腳接觸。

        16、優(yōu)選的,所述預(yù)處理裝置中設(shè)置有裁切組件,包括:絲桿二與切刀,絲桿二與預(yù)處理裝置轉(zhuǎn)動連接,其表面與切刀螺紋連接,切刀與預(yù)處理裝置內(nèi)壁滑動連接,切刀的切割面為直角三角狀。

        17、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:1、本發(fā)明通過點燃層點燃反應(yīng)箔老生成過渡層,同時通過射流層形成沖擊波對過渡層進行沖擊,使得過渡層致密化,此過程中反應(yīng)箔的反應(yīng)相對溫和,在氮化硅內(nèi)的殘留熱應(yīng)力低,同時生成的過渡層而可連接鎢合金和氮化硅板,使二者不易脫離,避免了母材差異問題;

        18、2、通過預(yù)處理裝置集成了反應(yīng)箔的裁切組件、固定組件和纏繞組件,從而通過淡單個裝置即可完成反應(yīng)箔與鎢合金的連接,并自動推動至氮化硅板中進行連接,通過固定組件保證了鎢合金在纏繞過程中的位置穩(wěn)定性,從而使得反應(yīng)箔可緊密纏繞于鎢合金表面,同時利用激光點焊頭對反應(yīng)箔與鎢合金進行初步連接,避免二者脫離或分離,提高了后續(xù)作業(yè)的穩(wěn)定性。


        技術(shù)特征:

        1.一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:包括:

        2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述激光頭(4)中,氣流層(42)向內(nèi)傾斜,氣流層(42)的輸出方向朝向點燃層(41),點燃層(41)內(nèi)壁的末端固定連接有鏡片(44)。

        3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述放置臺(1)的表面可拆卸的安裝有氮化硅板(2),氮化硅板(2)的側(cè)面開設(shè)有貫穿的連接孔(3),放置臺(1)的一側(cè)與激光頭(4)固定連接,激光頭(4)與連接孔(3)同軸對齊,放置臺(1)的另一側(cè)與預(yù)處理裝置(6)固定連接。

        4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述驅(qū)動單元(652)固定連接于預(yù)處理裝置(6)內(nèi)部的底端,驅(qū)動單元(652)的輸出端固定連接有滑動框(651),滑動框(651)的兩端固定連接有呈y狀的限位框(653),限位框(653)的內(nèi)弧面固定連接有t狀頂板(654),限位框(653)及頂板(654)的表面均勻與兩個組合筒(655)接觸。

        5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:兩個所述組合筒(655)的截面均呈半圓狀,組合筒(655)的兩端與底板(656)的兩端鉸接且表面開設(shè)有一排均勻設(shè)置的通孔,底板(656)的兩端與預(yù)處理裝置(6)固定連接,底板(656)的下側(cè)固定連接有若干個導(dǎo)氣管(657),導(dǎo)氣管(657)的另一端穿過預(yù)處理裝置(6),底板(656)的上側(cè)與反應(yīng)箔(7)接觸,反應(yīng)箔(7)與導(dǎo)氣管(657)之間為負(fù)壓。

        6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述預(yù)處理裝置(6)內(nèi)壁上端固定連接有若干個激光點焊頭(61),兩個組合筒(655)合并時激光點焊頭(61)位于通孔的正上方,預(yù)處理裝置(6)的表面固定連接有導(dǎo)入管(62),導(dǎo)入管(62)遠離預(yù)處理裝置(6)的一端固定連接有電動推桿(63),導(dǎo)入管(62)、預(yù)熱導(dǎo)管(5)和連接孔(3)同軸對齊。

        7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述預(yù)熱導(dǎo)管(5)呈凸?fàn)睿湟欢伺c氮化硅板(2)接觸且此端內(nèi)壁直徑等于連接孔(3)直徑,預(yù)熱導(dǎo)管(5)另一端與預(yù)處理裝置(6)固定連接且此端內(nèi)壁直徑大于連接孔(3)直徑,預(yù)熱導(dǎo)管(5)內(nèi)壁中部為圓滑曲面。

        8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述鎢合金(9)的兩端均固定連接有針腳(10),鎢合金(9)的表面與反應(yīng)箔(7)接觸,反應(yīng)箔(7)為ni-al系自蔓延反應(yīng)箔,其兩端為斜邊(8),整體為平行四邊形狀。

        9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述固定組件(64)包括絲桿一(641)、連接桿一(643)、夾具(644)和與預(yù)處理裝置固定連接的導(dǎo)向桿(645)及,絲桿一(641)的表面螺紋連接有兩個對稱設(shè)置的滑塊(642),導(dǎo)向桿(645)的表面滑動連接有兩個對稱設(shè)置的滑塊(642),兩個同水平面的滑塊(642)之間通過連接桿一(643)固定連接,滑塊(642)的一側(cè)均固定連接有夾具(644),夾具(644)與針腳(10)接觸。

        10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,其特征在于:所述預(yù)處理裝置(6)中設(shè)置有裁切組件(66),包括:絲桿二(662)與切刀(661),絲桿二(662)與預(yù)處理裝置(6)轉(zhuǎn)動連接,其表面與切刀(661)螺紋連接,切刀(661)與預(yù)處理裝置(6)內(nèi)壁滑動連接,切刀(661)的切割面為直角三角狀。


        技術(shù)總結(jié)
        本發(fā)明公開了一種氮化硅鎢合金加熱片用激光輔助連接裝置,包括:放置臺、激光頭和預(yù)處理裝置,內(nèi)設(shè)置有纏繞組件、固定組件和激光點焊頭,纏繞組件包括驅(qū)動單元、頂板、組合筒和底板,組合筒設(shè)有兩個且均與底板轉(zhuǎn)動連接,組合筒的表面與驅(qū)動單元通過頂板連接,組合筒內(nèi)壁的直徑等于鎢合金的直徑及反應(yīng)箔的厚度之和;本發(fā)明通過反應(yīng)箔生成過渡層,同時使過渡層致密化,在氮化硅內(nèi)的殘留熱應(yīng)力低,過渡層可連接鎢合金和氮化硅板,避免了母材差異問題,通過預(yù)處理裝置集成了反應(yīng)箔的裁切以及纏繞過程,通過固定組件提高了鎢合金的位置穩(wěn)定性,從而使得反應(yīng)箔可緊密纏繞于鎢合金表面,同時利用激光點焊頭對反應(yīng)箔于鎢合金進行連接,提高了穩(wěn)定性。

        技術(shù)研發(fā)人員:李林
        受保護的技術(shù)使用者:大慶菲曼希精密設(shè)備制造有限公司
        技術(shù)研發(fā)日:
        技術(shù)公布日:2026/4/16
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