本發(fā)明涉及玻璃物品的制造方法以及玻璃物品。
背景技術(shù)：
1、以往，搭載于電子設(shè)備的半導(dǎo)體面向處理信息量的增加，要求高性能化。面向高性能化，具有半導(dǎo)體的三維安裝技術(shù)，即將半導(dǎo)體芯片彼此層疊并將各半導(dǎo)體芯片間配線連接從而制作半導(dǎo)體封裝體的技術(shù)。作為半導(dǎo)體封裝體的一實(shí)施例，面板級(jí)封裝體（plp）成為公知。在plp中，為了在使每一張支承基板的半導(dǎo)體封裝體的數(shù)量增加的同時(shí)，使制造成本降低，而使用矩形形狀的支承基板。
2、在半導(dǎo)體封裝體的制造工序中，由于伴隨著約200℃的熱處理，因此存在密封材變形并由于熱膨脹系數(shù)之差而在加工基板產(chǎn)生翹曲的風(fēng)險(xiǎn)。當(dāng)在加工基板產(chǎn)生翹曲時(shí)，難以對(duì)加工基板的一方的表面高密度地進(jìn)行配線，另外也難以準(zhǔn)確地形成焊料凸塊。
3、根據(jù)這種情況，為了抑制由支承基板以及加工基板的熱膨脹系數(shù)導(dǎo)致的翹曲，作為支承基板的材質(zhì)而使用玻璃（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。
4、玻璃基板容易將表面平滑化且具有剛性。另外，通過改變其組分，從而容易使熱膨脹系數(shù)與所包圍的基板相匹配。因此，當(dāng)作為支承基板而使用玻璃基板時(shí)，能夠?qū)⒓庸せ宸€(wěn)固且準(zhǔn)確地支承。另外，玻璃基板容易透過紫外光、紅外光等光。因此，當(dāng)作為支承基板而使用玻璃基板時(shí)，通過設(shè)置紫外線硬化型粘接劑等的粘接層等，從而能夠容易地固定加工基板。通過進(jìn)一步設(shè)置吸收紅外線的剝離層等，從而也能夠容易地分離加工基板。作為另一方式，通過利用紫外線硬化型膠帶等設(shè)置粘接層等，從而能夠容易地固定、分離加工基板。
5、在如此將玻璃基板用到支承基板的情況下，有時(shí)將用于管理、識(shí)別玻璃基板的各種信息（尺寸、熱膨脹系數(shù)、批次、整體板厚偏差、制造者名、銷售者名）的識(shí)別記號(hào)形成于玻璃基板。
6、作為形成識(shí)別記號(hào)方法，例如已知有向玻璃基板照射激光，并利用該照射后的熱沖擊使裂紋（主要是厚度方向的裂紋）在支承玻璃基板伸展而形成具有識(shí)別記號(hào)的信息識(shí)別部的方法。
7、但是，在以往的由激光照射進(jìn)行的形成加工中，玻璃成分（主要是si、b、al、li、na、k）作為煙氣（蒸發(fā)物）產(chǎn)生，并在加熱部（信息識(shí)別部）周邊的表面固化而堆積為碎屑（異物）。特別是，在由激光照射進(jìn)行的形成加工中，煙氣以具有較高能量的狀態(tài)附著于玻璃表面，因此碎屑的去除是困難的。由此，有時(shí)識(shí)別記號(hào)的讀取變得困難。另外，在制作半導(dǎo)體封裝體的工序中，有時(shí)因意外的碎屑的脫離而在工序內(nèi)造成污染。另外，在利用熱沖擊使裂紋在支承玻璃基板伸展而形成具有識(shí)別記號(hào)的信息識(shí)別部的情況下，存在因意外的裂紋的進(jìn)展而支承玻璃基板的強(qiáng)度降低的風(fēng)險(xiǎn)。
8、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
9、專利文獻(xiàn)
10、專利文獻(xiàn)1：日本特開2019－47106號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、發(fā)明要解決的課題
2、本發(fā)明是鑒于該當(dāng)前的課題而完成的，其課題在于提供通過減少在利用激光照射來進(jìn)行加工時(shí)產(chǎn)生的煙氣的能量，從而在抑制向玻璃表面的附著并能容易地進(jìn)行碎屑的去除的同時(shí)，能抑制因在基于激光照射的加工中進(jìn)展的裂紋而支承玻璃基板的強(qiáng)度降低的玻璃物品的制造方法以及玻璃物品。
3、用于解決課題的方案
4、本發(fā)明所要解決的課題如以上所述，接下來對(duì)用于解決該課題的方案進(jìn)行說明。
5、在本發(fā)明的方案1的玻璃物品的制造方法中，為一種玻璃物品的制造方法，使用脈沖激光來進(jìn)行激光加工，其中，在所述激光加工中使用的激光的條件是，輸出為1w以下，且多次照射激光加工預(yù)定線來進(jìn)行激光加工。
6、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，通過以接近能夠加工玻璃的下限值的功率進(jìn)行多次照射來進(jìn)行加工，從而在加工玻璃表面的同時(shí)，減少在進(jìn)行加工時(shí)產(chǎn)生的煙氣的能量，由此抑制向玻璃表面的附著，能容易地進(jìn)行碎屑的去除。
7、另外，在方案2的玻璃物品的制造方法中，在方案1的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述脈沖激光為飛秒激光。
8、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，縮短一次的脈沖照射時(shí)間，從而能夠?qū)?duì)玻璃的熱影響（由熱沖擊導(dǎo)致的破損等）抑制得較低。
9、另外，在方案3的玻璃物品的制造方法中，在方案1或2的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述輸出、所述脈沖激光的頻率的倒數(shù)以及由所述脈沖激光向所述激光加工預(yù)定線照射的照射次數(shù)之積為0.02以上，所述脈沖激光的頻率的單位為khz。
10、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，向一部位照射的能量控制在一定的范圍內(nèi)，從而在加工玻璃表面的同時(shí)，減少在進(jìn)行加工時(shí)產(chǎn)生的煙氣的能量，由此抑制向玻璃表面的附著，能容易地進(jìn)行碎屑的去除。
11、另外，在方案4的玻璃物品的制造方法中，在方案1～3的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，由所述脈沖激光向所述激光加工預(yù)定線照射的照射次數(shù)為2～10次。
12、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，不將向激光加工預(yù)定線照射的照射次數(shù)設(shè)定為必要以上那么多，就能夠進(jìn)行激光加工。
13、另外，在方案5的玻璃物品的制造方法中，在方案1～4的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，反復(fù)從所述激光加工預(yù)定線的起點(diǎn)掃描到終點(diǎn)而進(jìn)行多次照射。
14、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠在激光加工預(yù)定線上高效地加工。
15、另外，在方案6的玻璃物品的制造方法中，在方案1～5的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述玻璃物品以質(zhì)量％計(jì)含有5％以上的b2o3與r2o的合計(jì)量，r表示鋰、鈉以及鉀。
16、玻璃中的b2o3與r2o是容易因激光加工（加熱）而蒸發(fā)的成分。因而，在含有5％以上的b2o3與r2o的合計(jì)量的玻璃中，前述的課題容易明顯化，能夠享有由方案1～5帶來的效果。
17、另外，在方案7的玻璃物品的制造方法中，在方案1～6的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述激光加工為賦予點(diǎn)的加工，所述點(diǎn)為從所述玻璃物品的表面向內(nèi)部形成的凹陷狀。
18、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠得到可視性較高的識(shí)別信息部。
19、另外，在方案8的玻璃物品的制造方法中，在方案1～7的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，在剖視下，所述點(diǎn)從所述表面趨向所述內(nèi)部而具有頂部以及彎曲部，并在從所述表面到所述頂部之間具有多個(gè)拐點(diǎn)。
20、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在剖視下，點(diǎn)的形狀成為彎曲形狀，針對(duì)熱沖擊、外力的耐性提高，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
21、另外，在方案9的玻璃物品的制造方法中，在方案1～8的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，在剖視下，所述玻璃物品的表面與所述點(diǎn)的周端部形成的角為130°以上。
22、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，所述玻璃物品的表面與所述點(diǎn)的周端部形成的角變得平緩，針對(duì)熱沖擊、外力的耐性提高，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
23、另外，在方案10的玻璃物品的制造方法中，在方案1～9的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，在剖視下，所述點(diǎn)的深度相對(duì)于寬度的縱橫比為0.20以上且0.45以下。
24、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，針對(duì)熱沖擊、外力的耐性提高，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
25、另外，在方案11的玻璃物品的制造方法中，在方案1～10的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述點(diǎn)在內(nèi)表面具有激光加工痕，所述激光加工痕形成為臺(tái)階狀。
26、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，針對(duì)熱沖擊、外力的耐性提高，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
27、另外，在方案12的玻璃物品的制造方法中，在方案1～11的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述點(diǎn)的內(nèi)表面的算術(shù)平均粗糙度為0.6以下。
28、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，容易避免裂紋以點(diǎn)的內(nèi)表面的凹凸為起點(diǎn)從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
29、另外，在方案13的玻璃物品的制造方法中，在方案1～12的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，在所述點(diǎn)的周邊未附著所述玻璃物品的蒸發(fā)物。
30、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠提高點(diǎn)的可視性。
31、另外，在方案14的玻璃物品的制造方法中，在方案1～13的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，設(shè)定所述激光的條件的方法是，在結(jié)束了n次激光的照射之后，判斷有無在所述玻璃物品的表面附著的所述玻璃物品的蒸發(fā)物，在沒有所述蒸發(fā)物的附著的情況下進(jìn)行第n＋1次以后的照射并對(duì)激光加工的狀態(tài)進(jìn)行判斷。這里，n為正的整數(shù)。
32、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠在可靠地對(duì)在玻璃物品的表面未附著蒸發(fā)物進(jìn)行確認(rèn)之后，進(jìn)行接下來的激光照射，因此能夠抑制蒸發(fā)物向玻璃表面的附著。
33、另外，在方案15的玻璃物品中，為一種玻璃物品，形成有點(diǎn)，優(yōu)選的是，在剖視下，所述點(diǎn)為從所述玻璃物品的表面向內(nèi)部形成的凹陷狀，且從所述表面趨向所述內(nèi)部而具有頂部以及彎曲部，并在從所述表面到所述頂部之間具有多個(gè)拐點(diǎn)。
34、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠得到可視性較高的識(shí)別信息部，并且剖視下，點(diǎn)的形狀成為彎曲形狀，針對(duì)熱沖擊、外力的耐性提高，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
35、另外，在方案16的玻璃物品中，在方案15的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，在剖視下，所述玻璃物品的表面與所述點(diǎn)的周端部形成的角為130°以上。
36、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，所述玻璃物品的表面與所述點(diǎn)的周端部形成的角變得平緩，針對(duì)熱沖擊、外力的耐性提高，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
37、另外，在方案17的玻璃物品中，在方案15或16的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，剖視下的所述點(diǎn)的深度相對(duì)于寬度的縱橫比為0.1以上且2以下。
38、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，形成識(shí)別信息部的點(diǎn)的可視性提高，并且容易避免玻璃粉等進(jìn)入點(diǎn)的凹陷。
39、另外，在方案18的玻璃物品中，在方案15～17的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述點(diǎn)在內(nèi)表面具有激光加工痕，所述激光加工痕形成為臺(tái)階狀。
40、這種結(jié)構(gòu)通過以接近能夠加工玻璃的下限值的功率進(jìn)行多次激光照射來加工而得到，結(jié)果是，容易抑制裂紋從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
41、另外，在方案19的玻璃物品中，在方案15～18的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，所述點(diǎn)的內(nèi)表面的算術(shù)平均粗糙度為0.6以下。
42、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，容易避免裂紋以表面粗糙度的凹凸為起點(diǎn)從點(diǎn)表面向支承玻璃基板的伸展。
43、另外，在方案20的玻璃物品中，在方案15～19的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的是，在所述點(diǎn)的周邊未附著所述玻璃物品的蒸發(fā)物。
44、根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠避免點(diǎn)的可視性的降低。
45、發(fā)明效果
46、作為本發(fā)明的效果，起到以下所示那樣的效果。
47、根據(jù)本發(fā)明的玻璃物品的制造方法，減少在利用激光照射來進(jìn)行加工時(shí)產(chǎn)生的煙氣的能量，從而能夠在抑制向玻璃表面的附著，能容易地進(jìn)行碎屑的去除的同時(shí)，抑制支承玻璃基板的強(qiáng)度降低。另外，根據(jù)本發(fā)明的玻璃物品，能夠在抑制向玻璃表面的附著，能容易地進(jìn)行碎屑的去除的同時(shí)，抑制因在基于激光照射的加工中進(jìn)展的裂紋而支承玻璃基板的強(qiáng)度降低。