本發明涉及一種真空泵的轉子的制造方法。
背景技術:
1、在真空泵中有包括具有轉子葉片以及轉子圓筒部、且被旋轉驅動的轉子的真空泵(例如,參照專利文獻1)。在所述真空泵中,使轉子旋轉來對排氣對象裝置的內部進行抽吸,將所抽吸的氣體排出到外部。
2、[現有技術文獻]
3、[專利文獻]
4、[專利文獻1]日本專利特開2021-139361號公報
技術實現思路
1、[發明所要解決的問題]
2、以前,轉子葉片等的轉子的結構部件是通過切削加工(削出)等機械加工形成金屬塊(例如,鍛造材)來制造。在基于機械加工的轉子的制造中,有產生切屑、特別是為了實現設有轉子葉片的部分的復雜形狀而加工時間變長的問題。
3、為了解決此種基于機械加工的轉子的制造的問題,可考慮使用基于材料的層疊的造型法(例如層疊造型法)來制造轉子。在基于材料的層疊的造型法中,通過將材料的層依次層疊,可形成任意形狀的對象物。即使在利用所述造型法來制造轉子整體的情況下,也會產生由于將材料層疊并依次形成轉子,因此轉子的制造時間變長、由于需要較多層疊的材料,因此轉子的制造成本變高等的問題。
4、因此,本發明的目的在于在短時間內抑制材料的浪費來制造真空泵的轉子。
5、[解決問題的技術手段]
6、本發明的一實施例的轉子的制造方法是制造具有轉子葉片以及轉子圓筒部的轉子的方法。轉子的制造方法具有以下步驟。
7、(a)通過機械加工形成包含轉子圓筒部的至少一部分的第一部分的步驟。
8、(b)在第一部分層疊形成包含轉子葉片的第二部分的步驟。
9、[發明的效果]
10、在真空泵中所使用的轉子的制造方法中,通過機械加工形成轉子中包含轉子圓筒部的至少一部分的第一部分,在第一部分層疊形成轉子的剩余部分、即包含轉子葉片的第二部分。包含轉子圓筒部的至少一部分的第一部分具有簡單的形狀,因此可通過機械加工容易且短時間地形成。另一方面,包含轉子葉片的第二部分具有復雜的形狀,但可通過在第一部分層疊的方法容易地形成。在通過層疊的方法形成轉子整體的情況下,形成花費較長的時間,并且需要較多的材料,但通過利用層疊形成僅第二部分,可使加工時間縮短。另外,由于不需要較多的材料,因此可降低轉子的制造成本。
11、如此,在轉子的制造中,通過將利用機械加工形成的部分(第一部分)與利用層疊形成的部分(第二部分)分開,與通過機械加工形成轉子整體的情況相比較,可在減少切屑的同時容易且短時間地制造轉子。另外,與通過層疊形成轉子整體的情況相比較,可短時間且低成本地制造轉子。
1.一種轉子的制造方法,為制造具有轉子葉片以及轉子圓筒部的轉子的方法,所述制造方法包括:
2.根據權利要求1所述的轉子的制造方法,其中,在所述第一部分層疊的第一材料為鈦系材料。
3.根據權利要求1所述的轉子的制造方法,還包括以通過機械加工形成的所述第一部分為基準來確定加工原點,至少對所述第二部分進行精加工的步驟。
4.根據權利要求1所述的轉子的制造方法,其中,所述第一部分為所述轉子圓筒部的整體。
5.根據權利要求1所述的轉子的制造方法,其中,所述第一部分為所述轉子圓筒部中與所述轉子葉片連接的部分。
6.根據權利要求5所述的轉子的制造方法,還包括通過在所述第一部分安裝規定的構件,形成所述轉子圓筒部的步驟。
7.根據權利要求6所述的轉子的制造方法,其中,所述規定的構件由碳材料構成。